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三河建華高科有限責(zé)任公司
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更新時(shí)間：2023-06-27 09:13:34瀏覽次數(shù)：784次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 包裝印刷網(wǎng)主要用于中小規(guī)模集成電路和半導(dǎo)體元器件制造工藝中的對(duì)準(zhǔn)及曝光
主要用于中小規(guī)模集成電路和半導(dǎo)體元器件制造工藝中的對(duì)準(zhǔn)及曝光。本產(chǎn)品操作方便、穩(wěn)定性高、重復(fù)性好，并具有較高的性能價(jià)格比，可廣泛應(yīng)用于科研和生產(chǎn)。
主要技術(shù)特點(diǎn)
對(duì)準(zhǔn)工作臺(tái)
對(duì)準(zhǔn)精度搞，漂移小，精密楔形誤差補(bǔ)償機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)三點(diǎn)找平，找平力小，延長(zhǎng)掩摸版使用壽命。
曝光系統(tǒng)
采用柱體蠅眼透鏡和高能力集光的橢球反射鏡等精密光學(xué)件，具有較高的光強(qiáng)、均勻性、光學(xué)分辨率。
分離視場(chǎng)顯微鏡
在X、Y方面進(jìn)行大范圍掃描觀察，可進(jìn)行單視場(chǎng)或雙視場(chǎng)切換，提高對(duì)準(zhǔn)效率和套準(zhǔn)精度，同時(shí)兼容CCD成像顯示功能。
控制系統(tǒng)
電氣控制采用可編程序控制器（PLC）、LCD顯示器，操作方便，汞燈電源易于觸發(fā)，可靠性高。該設(shè)備的關(guān)鍵件采用進(jìn)口或?qū)I(yè)廠家制造，氣動(dòng)元件采用SMC產(chǎn)品，提高了設(shè)備的穩(wěn)定性、可靠性，同時(shí)提供個(gè)性化服務(wù)
主要技術(shù)指標(biāo)
| 性能名稱 | 技術(shù)指標(biāo) | |
| 適用基片尺寸 | Max. φ4″（φ100mm） | |
| 適用掩模版尺寸 | Max. 5″（125mm×125mm） | |
| 工作臺(tái)行程 | Ｘ向 | ±5mm |
| Y向 | ±5mm | |
| Z向 | 3mm | |
| θ向 | ±12° | |
| 基片與掩模版分離間隙 | 0～0.05mm | |
| 對(duì)準(zhǔn)精度 | ±1μm | |
| 分離視場(chǎng)顯微鏡 | 目鏡 | 10× |
| 物鏡 | 10× | |
| 物鏡分離距離 | 28～90mm | |
| 掃描范圍 | 50mm×50mm | |
| 調(diào)焦范圍 | 8mm | |
| 曝光光源 | 250W進(jìn)口超高壓汞燈 | |
| 光強(qiáng) | ≥15mW/cm2 | |
| 曝光面積 | φ108mm | |
| 曝光分辨率 | 1.5μm（真空接觸） | |
| 曝光不均勻性 | ±3% | |
| 曝光時(shí)間 | 0～999s | |
| 整機(jī)功率 | 1000W | |
| 外型尺寸（長(zhǎng)×寬×高） | 740mm×830mm×1300mm | |
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