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上海津能實業(yè)有限公司

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掃描電子顯微鏡

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產(chǎn)品簡介

商品說明掃描電子顯微鏡(SEM)不僅是開展科研工作所的工具，對于需要品控的制造工廠也是的

詳細(xì)介紹

商品說明

掃描電子顯微鏡 (SEM) 不僅是開展科研工作所的工具，對于需要品控的制造工廠也是的。在這些場景中，用戶需要重復(fù)執(zhí)行相同的觀察操作，因此快速完成這些操作有助于提高工作效率。 JSM-IT510 新增的“簡單 SEM"功能，用戶可將 SEM 觀察所需的“手動重復(fù)操作交給它"，從而更高效、更輕松地完成 SEM 觀察。

此系列有下面4種配置

BU（基本單元）	基本類型，高真空條件下觀察
A（分析型）	分析型，標(biāo)配EDS能譜
LV（低真空型）	低真空型，適用于高、低真空操作，配置BED
LA（低真空分析型）	低真空分析型，適用于高、低真空操作，配置BED和EDS

SEM規(guī)格

分辨率	高真空模式：3.0nm（30kV），15.0nm（1.0kV）；低真空模式：4.0nm（30kV、BED）
放大倍數(shù)	x5 至 x300，000
電子槍	鎢燈絲，全自動電子槍調(diào)準(zhǔn)
加速電壓	0.3kV~ 30kV
探針電流	1pA~1uA
LV壓力調(diào)節(jié)	10~650Pa
物鏡光闌	4檔，帶XY微調(diào)功能
自動功能	燈絲飽和點調(diào)整、電子槍合軸調(diào)整、電子束對中調(diào)整、聚焦/散光/亮度/襯度調(diào)整
樣品尺寸	200mm直徑 x 75mm高
樣品臺	大型全對中樣品臺 X: 125mm Y：100mm Z：80mm 傾斜：-10~90^o 旋轉(zhuǎn)：360^o
圖像模式	二次電子像、REF像、成分像、形貌像、陰影像
圖像尺寸	640 x 640、1280 x 960、 2560 x 1920、 5120 x 3840
照片輔助功能	蒙太奇、簡單SEM、Zeromag、實時3D
操作支持功能	菜單（標(biāo)準(zhǔn)菜單/自定義菜單），測量、樣品交換導(dǎo)航、信號深度功能、3D測量*
操作系統(tǒng)	Win10 64位
顯示器	23.8英寸觸控面板
語言切換	日語、英語、中文（可在用戶界面上操作）
真空系統(tǒng)	全自動、TMP、RP

主要可選項

1. 背散射電子探測器BED

2. 低真空混合二次電子探測器LHSED

3. 低真空二次電子檢測器LVSED

4. 能譜儀EDS

5. 波譜儀WDS

6. 電子背散射衍射圖樣EBSD

7. 真空預(yù)抽室LLC

8. 樣品臺導(dǎo)航系統(tǒng)SNS

9. 大區(qū)域樣品臺導(dǎo)航系統(tǒng)SNSLS

10. 樣品室相機(jī)CS

11. 操作面板OP2

12. LaB₆電子槍

13. 3D分析軟件SVM

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