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位移/俯仰角/偏擺角同步測(cè)量激光干涉儀(型號(hào)ZLM900)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地上海

更新時(shí)間:2023-02-22 15:01:57瀏覽次數(shù):383次

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產(chǎn)品功能在同一光路方向,對(duì)被測(cè)物體進(jìn)行位移、偏擺角和俯仰角的同步測(cè)量

 

產(chǎn)品功能

在同一光路方向,對(duì)被測(cè)物體進(jìn)行位移、偏擺角和俯仰角的同步測(cè)量。

 

系統(tǒng)特點(diǎn)

*光導(dǎo)性激光器,體積小,重量輕。

*干涉鏡集成在激光器里,光路調(diào)節(jié)極其簡(jiǎn)單。

*反射鏡個(gè)性化設(shè)計(jì),廣泛應(yīng)用于多種場(chǎng)合。

*三軸數(shù)據(jù)同步精度:20ns。

*所有3軸實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)測(cè)量,無(wú)延時(shí)。

*使用高精度溫度傳感器進(jìn)行數(shù)據(jù)補(bǔ)償。

 

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)ZLM900

參數(shù)

位移測(cè)量范圍

5 m

位移測(cè)量分辨率

20 pm

位移測(cè)量精度  ±0.1μm/m 

角度測(cè)量范圍

使用角錐反射鏡:±12.5°

使用平面反射鏡:±1.5角分(建議距離小于2m)

角度測(cè)量分辨率(位移分辨率為0.1nm時(shí))

0.002角秒

激光束間距

12 mm

波長(zhǎng)

632.8nm

穩(wěn)頻精度

2x10^-8

預(yù)熱時(shí)長(zhǎng)  10-20分鐘 
工作溫度  15-30℃ 
激光器含基座尺寸  202x137x72 mm 

反射鏡尺寸

45x45x20 mm

數(shù)據(jù)處理器尺寸  450x450x150 mm 
激光器含基座重量  1.9 kg 
反射鏡重量  80 g 
數(shù)據(jù)處理器重量  8 kg 
數(shù)據(jù)接口  RS232C、USB 
激光器與數(shù)據(jù)處理器之間線纜長(zhǎng)度  3 m (可選10 m)
工作電源  100-240VAC,47-63Hz 
激光安全等級(jí)  2M,II 

 

 

系統(tǒng)構(gòu)成

1.三維激光器及安裝底座        一套

2.三維反射鏡                  一個(gè)

3.三軸數(shù)據(jù)處理器              一套

4.環(huán)境補(bǔ)償器                  一套

 

系統(tǒng)示意圖

 

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