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5P125型五柱塞高壓往復(fù)泵

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商鋪產(chǎn)品:3條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:衛(wèi)先生

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

5P125型五柱塞高壓往復(fù)泵技術(shù)參數(shù)行程:125mm,柱塞力:5800Kg

詳細(xì)介紹

一、產(chǎn)品用途、適用范圍及特點(diǎn)

 

本機(jī)主要用于碳化硅、硅片、鍺片、鈮酸鋰、玻璃等硬脆材料的單面研磨,也可用于藍(lán)寶石片狀材料的單面研磨,以及用于其它硬脆材料平行平面的單面高精度、高效率研磨。

 

該機(jī)采用觸摸界面及PLC控制。為用戶(hù)提供開(kāi)放式的圖形操控界面,充分發(fā)揮機(jī)械硬件性能;該機(jī)主傳動(dòng)具有傳動(dòng)鏈短、穩(wěn)定可靠等特點(diǎn);四個(gè)上拋頭主動(dòng)旋轉(zhuǎn),壓力控制采用電氣比例閥強(qiáng)制冷卻,溫度控制精確。 

 

二、設(shè)備傳動(dòng)結(jié)構(gòu)及布局 

 

Ø 主軸系統(tǒng)位于設(shè)備的下方,由電機(jī)通過(guò)窄V帶拖動(dòng)蝸輪蝸桿減速箱,減速箱與軸直連,保證了其運(yùn)轉(zhuǎn)精度,下盤(pán)采用交叉磙子軸承定位支撐,運(yùn)轉(zhuǎn)剛度和精度都得到了良好的保障,下盤(pán)軸下部裝有旋轉(zhuǎn)接頭,用于拋盤(pán)內(nèi)通冷卻水;

Ø 上拋光系統(tǒng)頭位于設(shè)備的上部,上拋光頭的升降及加壓由氣缸實(shí)現(xiàn),上盤(pán)設(shè)有冷卻水通路用于上拋頭的冷卻,上拋頭的旋轉(zhuǎn)由減速電機(jī)通過(guò)齒輪直接驅(qū)動(dòng);

Ø 在下拋盤(pán)中間設(shè)有可升降的一個(gè)中間導(dǎo)輪裝置,在接液盆邊緣部位設(shè)有四個(gè)外導(dǎo)輪裝置,二者配合可實(shí)現(xiàn)工件盤(pán)的自動(dòng)定位;

Ø 在設(shè)備的上部橫梁正面設(shè)有主操作面板,可進(jìn)行參數(shù)設(shè)定,運(yùn)行監(jiān)控等功能,在橫梁的側(cè)面各有兩個(gè)小操縱板用于四個(gè)上拋頭的升降操作;

Ø 在設(shè)備后部箱體上裝有液路系統(tǒng),設(shè)有上下盤(pán)冷卻水、拋光液、清洗水的通路;

Ø 在設(shè)備的前部箱體與橫梁兩側(cè)裝有前立柱,用于橫梁的輔助支撐,立柱高度方向可微調(diào);

Ø 在箱體的右側(cè)設(shè)有兩個(gè)加油口,用于主軸兩組軸承的潤(rùn)滑;

Ø 在橫梁上裝有紅外測(cè)溫裝置,用于拋盤(pán)盤(pán)面溫度的監(jiān)測(cè);

Ø 在下拋盤(pán)的外側(cè)設(shè)有可滑動(dòng)的防護(hù)罩,可防止工作液的飛濺,減少有害氣體的溢出;

Ø 工作液采用鉆石液噴霧方式

Ø 具有車(chē)刀裝置,可對(duì)銅盤(pán)盤(pán)面進(jìn)行面型修正及刻槽加工。

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