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半導體晶圓腐蝕清洗系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽市

包裝印刷網(wǎng)采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

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更新時間：2023-10-08 10:14:36瀏覽次數(shù)：265次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：21條

所在地區(qū)：遼寧沈陽市

產(chǎn)品簡介

半導體晶圓腐蝕清洗系統(tǒng)采用半導體工藝要求的材料和工藝流程，可設計腐蝕槽清洗槽等工藝組合通討PLC加觸摸屏組合設計控制，可對硅晶圓實現(xiàn)需要的硅腐蝕HF處理沖水超聲吹干等工藝過程。

詳細介紹

1、產(chǎn)品概述

半導體晶圓腐蝕清洗系統(tǒng)采用半導體工藝要求的材料和工藝流程，可設計腐蝕槽清洗槽等工藝組合通討PLC加觸摸屏組合設計控制，可對硅晶圓實現(xiàn)需要的硅腐蝕HF處理沖水超聲吹干等工藝過程。

2、性能參數(shù)

  • 裝片能力: 5時，6時，8時，150-300微米

  • 清洗能力: 2cassette/Batch，25Pcs/cassette

  • 主要材質(zhì): 聚丙烯磁白PP:阻燃聚氬乙烯PVC: SUS304不銹鋼，透明抗靜電PVC5T

  • 防漏盤: 聚丙烯磁白 PP 板材

  • 排風通道: 內(nèi)設有風量導流板:控制方式:PLC+觸摸屏控制

  • 工藝溫度: 30~80℃（可調(diào)）

  • 溫控精度: +0.5℃

  • 工藝槽數(shù): 2-5個可選

  • 工藝配方: 預先設置自動執(zhí)行

  • 廢液回收: 機臺后方專用管道

  • 設備維護: 狀態(tài)監(jiān)測手動點檢

  • 工作環(huán)境: 千級凈化車間

3、相關服務

支持客戶定制服務提供顧客標準化工藝





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