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沈陽(yáng)北博電子科技有限公司


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腐蝕清洗設(shè)備系列 BE-AC10系列

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商鋪產(chǎn)品：21條

所在地區(qū)：遼寧沈陽(yáng)市

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

用于硅半導(dǎo)體MEMS工藝壓力傳感器硅杯的腐蝕與清洗工藝。

詳細(xì)介紹

（1）應(yīng)用場(chǎng)景：

用于硅半導(dǎo)體MEMS工藝壓力傳感器硅杯的腐蝕與清洗工藝。
（2）   主要特點(diǎn)：

  • ★設(shè)備由腐蝕和清洗兩部分組成，包括設(shè)備主體、腐蝕槽、PID恒溫系統(tǒng)、PLC工控系統(tǒng)、清洗槽、兆聲清洗及快排系統(tǒng)等部分。

  • ★腐蝕液槽外循環(huán)，槽內(nèi)均勻噴射的流體模式，腐蝕反應(yīng)均勻性更好。

  • ★槽內(nèi)直接測(cè)溫，直接加熱的方式，溫度反應(yīng)更靈敏，腐蝕溫度更均勻。

  • ★自動(dòng)程序噴淋清洗，兆聲助洗，硅片清洗效果更好

  • ★所有程序可設(shè)定運(yùn)行，更精準(zhǔn)，更可靠，更省時(shí)省力。

  • ★硅片尺寸可定制：3吋、4吋、5吋、6吋、8吋、10吋



（3）可根據(jù)用戶使用條件定制需要的規(guī)格，有關(guān)技術(shù)指標(biāo)請(qǐng)索取產(chǎn)品詳細(xì)說明。


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