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蘇州首鐳激光科技有限公司


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Wafer Backside 激光打碼機(jī)

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品       牌

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所  在  地蘇州市

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更新時(shí)間:2024-07-01 09:20:13瀏覽次數(shù):162次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

為晶圓背面自動(dòng)打標(biāo)而設(shè)計(jì),可加工8寸及12寸晶圓。 特殊的532nm綠色激光器用于在各種晶圓材料(金屬/聚酰亞胺涂層,裸硅研磨/非研磨)上進(jìn)行軟標(biāo)記(暗標(biāo)記)或硬標(biāo)記(白標(biāo)記),以及透帶晶圓標(biāo)記應(yīng)用。 用晶圓映射文件下載打標(biāo) ■頂部和底部側(cè)CCD ?多芯片芯片精準(zhǔn)定位 標(biāo)記班次和質(zhì)量檢查

詳細(xì)介紹

此設(shè)備主要為晶圓背面自動(dòng)打標(biāo)而設(shè)計(jì),可加工8寸及12寸晶圓。  

特殊的532nm綠色激光器用于在各種晶圓材料(金屬/聚酰亞胺涂層,裸硅研磨/非研磨)上進(jìn)行軟標(biāo)記(暗標(biāo)記)或硬標(biāo)記(白標(biāo)記),以及透帶晶圓標(biāo)記應(yīng)用。 用晶圓映射文件下載打標(biāo)  

■頂部和底部側(cè)CCD標(biāo)定一致 

?多芯片精準(zhǔn)定位  

標(biāo)記班次和質(zhì)量檢查  


■雙臂搬運(yùn)機(jī)器人  

快速上/下片  

■12“負(fù)載端口與8"適配器  

方便不同晶圓尺寸的交換  

■FFC平臺(tái)加載程序  

支持更薄或翹曲晶片  

■頂部側(cè)夾鉗和底部真空  

減少晶圓翹曲  

■帶有OCR閱讀器和SECS/GEN軟件功能的預(yù)對(duì)準(zhǔn)器  

用晶圓映射文件下載打標(biāo)  

■頂部和底部側(cè)CCD  

?多芯片芯片精準(zhǔn)定位  

標(biāo)記班次和質(zhì)量檢查  


標(biāo)記模式軟標(biāo)記(暗標(biāo)記),硬標(biāo)記(白標(biāo)記),點(diǎn)陣標(biāo)記  

字體半OCR,點(diǎn)矩陣和定制的設(shè)計(jì)  字符高度240um(可選較小字符)  

精度±50um

可重復(fù)性25±um

打標(biāo)能力背景,拋光,涂層,氧化,鎳,通過(guò)膠帶  

打標(biāo)深度白色打標(biāo)<3 um,深色打標(biāo)<0.1um,薄膜打標(biāo)<10


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