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日立SU3500掃描電子顯微鏡

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更新時(shí)間：2023-11-01 09:40:40瀏覽次數(shù)：253次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

高畫質(zhì)的鎢燈絲掃描電鏡,圖象質(zhì)量更進(jìn)一步

詳細(xì)介紹

高畫質(zhì)的鎢燈絲掃描電鏡, 圖象質(zhì)量更進(jìn)一步。

通過高畫質(zhì)提升掃描電鏡的分析能力和操作性, 凝聚日立科技“匠心"。
SU3500鎢燈絲掃描電鏡具有實(shí)現(xiàn)了“3 kV加速電壓7 nm分辨率"的全新電子光學(xué)系統(tǒng), 可實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀察功能"＊1、以及更高檢測(cè)效率的 “UVD超高靈敏度可變壓力檢測(cè)器"＊1它為觀察和分析提出了嶄新的標(biāo)準(zhǔn)。

特點(diǎn)

低加速電壓觀察時(shí)分辨率更高，可更好地觀察樣品表面的細(xì)微形狀和更有效地降低樣品的損壞

全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和信號(hào)處理技術(shù)實(shí)現(xiàn)了高速掃描和低噪音的觀察

和以前的常規(guī)掃描電子顯微鏡相比＊2自動(dòng)功能縮短＊3了大約11秒

具有在低真空時(shí)可以非常好地觀察樣品表面的細(xì)微形狀的“UVD(超高靈敏度可變壓力探測(cè)器)"＊4

具有實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀察功能"＊4

規(guī)格

項(xiàng)目

描述

二次電子分辨率

3.0 nm(加速電壓=30 kV，WD=5 mm高真空模式)
7.0 nm(加速電壓=3 kV，WD=5 mm高真空模式)

背散射電子分辨率

4.0 nm(加速電壓=30 kV，WD=5 mm低真空模式)
10.0 nm(加速電壓=5 kV，WD=5 mm高真空模式)

放大倍率

5 - 300,000倍(底片倍率＊5）
7 - 800,000倍(顯示器顯示倍率＊6）

加速電壓

0.3～30kV

可變壓力范圍

6～650Pa

樣品尺寸

直徑 200 mm

樣品臺(tái)

X

0～100mm

Y

0～50mm

Z

5～65mm

R

360°

T

-20～90°

可觀察區(qū)域

直徑 130 mm(旋轉(zhuǎn)并用)

樣品高度

80mm（WD＝10mm）

馬達(dá)臺(tái)

5軸標(biāo)配

電子光學(xué)系統(tǒng)

電子槍

預(yù)對(duì)中的鎢燈絲

物鏡光闌

4孔可動(dòng)光闌

探檢測(cè)器

埃弗哈特 索恩利 二次電子探測(cè)器
高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器

EDX分析 WD

10 mm(取出角35°)

圖像顯示

操作系統(tǒng)

Windows®7(有更改，恕不另行通知)

圖像顯示模式

全屏模式(1,280 × 960 像素)
小屏模式(800 × 600 像素)
雙圖像顯示(800 × 600 像素)
四屏幕顯示(640 × 480像素)
信號(hào)混合模式

排氣系統(tǒng)

操作

全自動(dòng)排氣

渦輪分子泵

261升/秒 × 1

機(jī)械泵

135 L/min.(162 L/min.，60Hz) × 1



觀察



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