薄膜熱應力測試系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號TST-1200

品牌

廠商性質其他

所在地杭州市

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更新時間：2023-08-23 10:29:29瀏覽次數(shù)：227次

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杭州華盼科技有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：419條

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聯(lián)系人：錢經(jīng)理

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產(chǎn)品簡介

簡要描述：獲得的MOS多光束技術（二維激光陣列）

詳細介紹

特點:

1.獲得的MOS多光束技術（二維激光陣列）

2.采用真空和低壓氣體保護，可進行溫度范圍-100~1200°C（多種溫度范圍可選）的變溫測量

3.樣品快速熱處理和冷處理功能

4.溫度閉環(huán)控制保證的溫度均勻性和精度

5.實時的應力、曲率VS溫度曲線

6.程序化控制掃描模式：選定區(qū)域、多點線性掃描、全面積掃描

7.成像功能：樣品表面2D曲率成像，定量薄膜應力成像分析

8.測量功能：曲率、曲率半徑、薄膜應力、薄膜應力分布和翹曲等

9.氣體（氮氣、氬氣和氧氣等）Delivery系統(tǒng)

10.可采用泵入液氮冷卻,較大冷卻速率100°C/min

應用:

TST用于科研或者生產(chǎn)企業(yè)中薄膜原位應力監(jiān)測和控制。

TST應用于金屬薄膜，介電薄膜、濾光片膜、平板玻璃、300mm半導體集成電路板、薄膜電池、MBE和MOCVD薄膜制備和退火過程的熱應力監(jiān)控等領域。

技術參數(shù):

型號	TST-1200
溫度范圍	-100~1200°C(多種溫度范圍可選)
溫度速率	加熱 >10°C/秒冷卻 600°C，較高50°C/分鐘；400°C到室溫，較高5°C/分鐘（可擴展更快的升溫和降溫速率）
溫度均勻性	± 2 °C
溫度穩(wěn)定性	± 1 %
平均傾斜重復性	< 1μrad
平均曲率重復性	< 2×10-5 1/m
應力測量范圍	幾十KPa ~ 幾十GPa
空間掃描分辨率（用戶可調）	高達1μm
曲率分辨率	室溫100Km，高溫20Km
實時熱應力測量分析	30點/秒
真空腔室真空度	10 mTorr
測量基片尺寸	標配200mm（100mm和300mm可選）