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KW-5型臺式勻膠機(jī)

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更新時(shí)間：2023-07-04 09:00:55瀏覽次數(shù)：167次

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聯(lián)系人：周經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

KW-5型臺式勻膠機(jī)中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會CSIA推薦中國SIYOUYEN?臺式勻膠機(jī)：（SpinCoater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合半導(dǎo)體大型晶圓硅片,芯片,晶片,基片,液晶片,華陽板等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠

詳細(xì)介紹

KW-5型臺式勻膠機(jī)

中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會CSIA推薦中國 SIYOUYEN?

臺式勻膠機(jī)：（Spin Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合半導(dǎo)體大型晶圓硅片,芯片,晶片,基片,液晶片,華陽板等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。

詳細(xì)介紹： 勻膠機(jī)(英文名：Spin Coater)

行業(yè)俗稱:勻膠臺,甩膠機(jī),涂膠機(jī),鍍膜機(jī),涂層機(jī),旋涂機(jī),旋涂儀等。

型號MODEL KW-5型

產(chǎn)品概述:

SIYOUYEN品牌KW型勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆.

勻膠機(jī)穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動,可以保證半導(dǎo)體中膠厚度的一致性和均勻性,這正是KW型均勻膠機(jī)的特點(diǎn).

該機(jī)在這方面采取了許多措施:

(一)該設(shè)備采用美國*技術(shù),采用進(jìn)口配件(韓國定子和轉(zhuǎn)子，美國電機(jī)）

(二)定子和轉(zhuǎn)子分開供電.定子用穩(wěn)定電源供勵磁電流,轉(zhuǎn)子用開關(guān)電源調(diào)速,它比可用控硅調(diào)速*得多,轉(zhuǎn)速在1000~5000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定.

(三)本勻膠機(jī)有兩個(gè)轉(zhuǎn)速.在啟動之后,先以低速運(yùn)轉(zhuǎn),使膠攤開,然后自動變到高速運(yùn)轉(zhuǎn).兩種轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時(shí)間分別可調(diào).

(四)本勻膠機(jī)測速采用光電的辦法,在光電測速盤的邊上有三個(gè)缺口,(反射帶和吸收帶)分布于盤的周圍，盤邊的下面安裝有光電開關(guān),光源照到光電經(jīng)反射到接收器,產(chǎn)生光電脈沖,測速盤旋轉(zhuǎn)一周,產(chǎn)生三個(gè)脈沖.閘門由秒脈沖電路產(chǎn)生,周期為兩秒.當(dāng)馬達(dá)旋轉(zhuǎn)時(shí),如果計(jì)時(shí)器在2秒內(nèi)計(jì)的得數(shù)是n,則每分鐘應(yīng)該轉(zhuǎn)了n/(2x3)=n/6轉(zhuǎn),每分鐘旋轉(zhuǎn)(n/6)x60=10n轉(zhuǎn).故計(jì)數(shù)器就是每分鐘轉(zhuǎn)速,只不過差一個(gè)數(shù)量級.

(五)"吸片"采用電磁閥控制氣路,這樣適合流水線的工藝,一個(gè)氣泵可同時(shí)帶幾個(gè)勻膠機(jī)工作,提高了效率.

(六)勻膠機(jī)的定時(shí)功能由時(shí)基電路556來完成,把556按單穩(wěn)形式連接,改變RC常數(shù),就可以改變兩個(gè)勻膠時(shí)間.

(七)智能型調(diào)節(jié)勻膠時(shí)間,時(shí)間分別控制在1~18秒和3秒~1分鐘.

(八)在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減振措施,保證了在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音很低,保證涂覆表面均勻,保證通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度.

(九)勻膠機(jī)配真空泵使用（KW-5型勻膠機(jī) 推薦使用雙級無油環(huán)保真空泵 SML-140型）

1,特點(diǎn)是雙轉(zhuǎn)速勻膠機(jī),兩檔轉(zhuǎn)速及勻膠時(shí)間分別連續(xù)節(jié),在啟動后先低速運(yùn)轉(zhuǎn),經(jīng)幾秒鐘后轉(zhuǎn)換到高速運(yùn)轉(zhuǎn).

Ⅰ檔 調(diào)速范圍：500 -1000轉(zhuǎn)/分 Ⅰ檔 勻膠時(shí)間：2-18秒

Ⅱ檔 調(diào)速范圍：1000-5000轉(zhuǎn)/分 Ⅱ檔 勻膠時(shí)間：3-60秒

2,進(jìn)口轉(zhuǎn)子,穩(wěn)定性能更好,轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)以數(shù)字顯示為準(zhǔn).

3,LED數(shù)字顯示,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：±1% ,膠的均勻性：±3% .

4,三相電源：380V

5,電機(jī)功率：180W

6,適用：Φ100-Φ200mm（4"~~8"）硅片及其它材料等勻膠.

7,真空泵抽氣速率 ≥1200升/分

8,設(shè)備尺寸：500×500×460 mm

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