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中國(guó).鑫有研電子科技有限公司
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更新時(shí)間：2023-07-04 08:52:17瀏覽次數(shù)：175次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 包裝印刷網(wǎng)GJTQ-B氣浮式工件臺(tái)1
GJTQ-B氣浮式工件臺(tái)
1.技術(shù)參數(shù)
l X向粗動(dòng)行程：150mm、250mm等并可定制
l Y向粗動(dòng)行程：150mm、250mm等并可定制
l Z向粗動(dòng)行程：3mm
l θx向粗動(dòng)行程：±0.6°
l θy向粗動(dòng)行程：±0.6°
l θz向粗動(dòng)行程：±0.3″
l X向微動(dòng)行程：40μm
l Y向微動(dòng)行程：40μm
l Z向微動(dòng)行程：20μm
l θx向微動(dòng)行程： ±25″
l θy向微動(dòng)行程：±25″
l θz向微動(dòng)行程： ±1.5′
l X重復(fù)定位精度：±300nm（±3σ）
l Y重復(fù)定位精度：±300nm（±3σ）
l Z重復(fù)定位精度：±300nm（±3σ）
l 分辨力：1.2nm
l 運(yùn)動(dòng)偏擺：＜1″
l 運(yùn)動(dòng)速度：500mm/s
l 氣浮剛度：1000N/μm
l 方鏡正交性：：≤0.1″
2.配置
（1）機(jī)械系統(tǒng)
l 直線電機(jī)3個(gè)：荷蘭Tecnotion公司產(chǎn)品（美國(guó)Parker公司產(chǎn)品可選）
l 伺服電機(jī)3個(gè)：瑞士Maxon公司產(chǎn)品
l 壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器6個(gè)：德國(guó)PI公司產(chǎn)品
l 光柵6套：奧地利RS公司產(chǎn)品
l 液壓緩沖器6個(gè)：日本SMC公司產(chǎn)品
l 雙頻激光干涉儀1套：英國(guó)Renishaw公司產(chǎn)品
l 大理石基座1個(gè)(雙零級(jí))
l 大理石導(dǎo)向調(diào)石1根(雙零級(jí))
l 直線電機(jī)動(dòng)子連接板3個(gè)（航天超硬鋁，7050）
l 對(duì)沖式導(dǎo)向氣浮墊8個(gè)
l X向氣浮導(dǎo)軌1根（航天超硬鋁，7050）
l Y向氣浮導(dǎo)軌2根（航天超硬鋁，7050）
l Z向承重氣浮導(dǎo)軌1根：自主研制的無(wú)摩擦、高剛度氣浮導(dǎo)軌
l Y向?qū)驒M梁1根（航天超硬鋁，7050）
l Z向?qū)蚧善?個(gè)
l 微動(dòng)垂向簧片1個(gè)
l 微動(dòng)臺(tái)基座1個(gè)（航天超硬鋁，7050）
l 凸輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)3套
l 真空預(yù)載氣足1個(gè)
l 工作臺(tái)面1個(gè)（航天超硬鋁，7050）
l 三自由度柔性鉸鏈1個(gè)
l 精密方鏡1個(gè)
l 限位開關(guān)4個(gè)
l 氣路系統(tǒng)1套
l 線纜盒2個(gè)
（2）電控系統(tǒng)
l 高性能多軸運(yùn)動(dòng)控制卡
l 運(yùn)動(dòng)控制卡可控制1-3軸伺服電機(jī)、步進(jìn)電機(jī)
l 運(yùn)動(dòng)控制卡可提供3路模擬控制信號(hào)和3路脈沖+方向控制信號(hào)
l 運(yùn)動(dòng)控制卡集成PCI和RS-232通訊接口
l 運(yùn)動(dòng)控制卡集成光柵計(jì)數(shù)測(cè)量模塊，可接收20MHz編碼器信號(hào)
l 模塊化開關(guān)電源適配器
l 高精度零位檢測(cè)系統(tǒng)
l 高可靠軟硬件限位保護(hù)系統(tǒng)
l 抗干擾、高可靠復(fù)位電路系統(tǒng)
l 便攜式手提控制箱
l 采用屏蔽雙絞線纜，有效抑制靜電感應(yīng)及電磁干擾。
（3）軟件系統(tǒng)
l 人性化計(jì)算機(jī)控制界面程序（提供安裝光盤，可定制）
l 高精度位置伺服復(fù)合控制程序
（4）附件
l 產(chǎn)品操作說(shuō)明書（同時(shí)提供電子版）
2.配置
l 導(dǎo)軌：自主研制的無(wú)摩擦、高剛度氣浮導(dǎo)軌(氣浮剛度達(dá)1000N/μm以上)
l 電機(jī)：荷蘭Tecnotion公司直線電機(jī)，美國(guó)Parker公司直線電機(jī)，瑞士Maxon公司伺服電機(jī)，德國(guó)PI公司壓電陶瓷。
l 光柵：奧地利RS公司光柵，安捷倫雙頻激光干涉儀
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