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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SKY®CDG025D0.11000托/毫巴INFICONSKYCDG025D電容隔片真空計(jì)系列的溫度補(bǔ)償型壓力計(jì)可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定性能

詳細(xì)介紹

SKY® CDG025D 0.1 1000 托 / 毫巴

INFICON SKY CDG025D 電容隔片真空計(jì)系列的溫度補(bǔ)償型壓力計(jì)可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定性能。 數(shù)字電子元件用于改進(jìn)真空計(jì)的性能，具有一鍵調(diào)零功能和設(shè)調(diào)整等易于操作的特性。 防腐蝕超純陶瓷傳感器提供的零點(diǎn)穩(wěn)定性，預(yù)期使用壽命長(zhǎng)達(dá)數(shù)百萬(wàn)次壓力循環(huán)（包括氣壓突變）。 的傳感器屏蔽（正在申請(qǐng)）用于保護(hù)真空計(jì)，使其免受加工污染。 堅(jiān)固的機(jī)械設(shè)計(jì)和數(shù)字電子元件可以改進(jìn)電磁兼容性 (EMC)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和溫度補(bǔ)償。 CDG025D 電容隔片真空計(jì)為開(kāi)機(jī)后快速穩(wěn)定以及從大氣氣壓中快速恢復(fù)的功能樹(shù)立了新的標(biāo)準(zhǔn)。

益處

  • 全刻度范圍從 100 毫托 … 1000 托
  • 電源接通后快速穩(wěn)定
  • 暴露于大氣壓后快速恢復(fù)
  • 防腐陶瓷傳感器
  • 的長(zhǎng)期信號(hào)穩(wěn)定性
  • 溫度補(bǔ)償
  • 傳感器防污染保護(hù)
  • 一鍵調(diào)零功能
  • 電源

典型應(yīng)用

  • 用于刻蝕、CVD、PVD、ALD 的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備
  • 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和顯示制造設(shè)備
  • 工業(yè)真空設(shè)備
  • 常規(guī)壓力測(cè)量




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