武漢鑫卓雅科技發(fā)展有限公司
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更新時間：2023-03-07 11:10:35瀏覽次數(shù)：592次
聯(lián)系我時，請告知來自 包裝印刷網(wǎng)本測試儀是多用途綜合測量裝置，開展半導體材料的電阻性能的測試
本測試儀是多用途綜合測量裝置，開展半導體材料的電阻性能的測試。由四探針測試儀和非晶硅薄膜電導率測量儀組成。四探針測試儀由主機、測試架等部分組成，測試結果由數(shù)字表頭直接顯示。主機主要由高靈敏度直流數(shù)字電壓表和高穩(wěn)定度恒流源組成。非晶硅薄膜電導率測量儀由樣品室、溫控系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、高阻測量系統(tǒng)等部分組成。用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)、功能材料暗電導和光電導及溫度的變化的特性。
◆ 本底真空度：≤10 Pa，真空可控范圍：10～400Pa；
◆ 襯底加熱溫度：室溫～300℃；
◆ 測量范圍：
電阻率：0.001～200Ω.cm； 電導率：0.005～1000 s/cm； 電阻：0.001～200Ω.cm；
可測晶片直徑：200mmX200mm；間距：1±0.01mm； 針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機械游移率：≤0.3%； 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
◆恒流源：電流量程分為0.1、1、10、100(mA)四檔，各檔電流連續(xù)可調；誤差<±0.5%；
◆數(shù)字電壓表：
量程：0～199.99mV； 分辨率：10μV； 四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；
輸入阻抗>1000MΩ： 精度：±0.1%；
◆指針式高阻計：
電阻測量范圍：1×106～1×1017Ω； 精度：±10%±20%；
微電流測試：1×10-5～1×10-14A； 額定電壓：10、100、250、500、1000V±5%。
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