詳細(xì)摘要: 等離子體流動(dòng)控制設(shè)備采用質(zhì)量流量控制法對(duì)等離子體進(jìn)行氣體流量、密度、溫度、壓力的控制。等離子體流動(dòng)控制設(shè)備可靠性高、重復(fù)性高。寬范圍的參數(shù)調(diào)節(jié)范圍,可使用多種氣...
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