系統(tǒng)參數(shù):

◆原理: 非接觸、三維白光掃描干涉儀

◆掃描裝置: 閉環(huán)反饋壓電陶瓷，高線性電容傳感器,

◆視場放大倍率：高質(zhì)量分立放大倍率鏡頭：0.5×,0.75倍率: ×,1.0×,1.5×,2.0×

◆成像放大: 電動3 位系統(tǒng)成像放大

◆視場:0.03-14mm，跟物鏡和放大倍率有關,運用圖像拼接技術可以得到更大范圍

◆光源: 均勻成像，高效率，特殊設計長壽命白光LED物鏡座標配:可快速裝卸單物鏡夾具

◆控制 :濾光板托架，視場光闌（輔助聚焦）

◆測量陣列:標配640×480 像素；640×480，320×240，160×120 像素,可選更高分辨率992×999

◆樣件觀察: 專用液晶顯示屏實時觀察

◆精密聚焦 :電控手動和自動聚焦

◆Z 軸驅(qū)動:直流無刷微步進電機驅(qū)動，200mm 行程,0.1μm 精度

◆尺寸:157×132×89cm ，NewView：81×58×41cm ，防振臺：76X61X61,工作臺：85X132X89cm 

◆重量 :系統(tǒng)重量：約430Kg

◆輸入電壓: 100-240VAC,50/60 Hz

◆計算機: 帶液晶顯示器的高性能DELL 計算機

◆軟件:ZYGO MetroPro 軟件

◆物鏡座: 可快速裝卸單物鏡夾具 ,選件:手動6 位塔臺；電控 6 位塔臺；

◆樣品臺:手動,俯仰(±6°)和XY 平移(±50mm),電動,俯仰(±4°)和XY 平移(±76mm)電動, 俯仰( ± 4 ° )X-Theta (orY-Theta）和XY 平移(±76mm) 三種可選

◆縱向掃描:150μm，拓展掃描模式可到20mm,

◆縱向分辨率 ＜0.1nm,橫向分辨率 0.36～9.5μm，與所選物鏡有關,

◆掃描速度 ≤135μm/sec,與所選的CCD 和掃描模式有關

◆大數(shù)據(jù)點: 標準307200；可選984064；

◆RMS 重復性 ＜0.01 nm， RMSσ

◆臺階測量 :準確度 ≤ 0.75% ;重復性≤ 0.1% @ 1σ

◆測樣品特性:各種材料的表面：透明，不透明，鍍膜,非鍍膜，反射，弱反射

◆大尺寸: 89×203×203mm(高×寬×長);反射率: 1-99%