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基于25年經(jīng)驗(yàn)，UVISEL Plus相位調(diào)制橢偏儀提供純正有效的偏振調(diào)制，可用于各種樣品的精確測(cè)量，的FastAcq^TM快速采集技術(shù)使得測(cè)試靈敏度提高至原有的2倍，從而能獲得界面薄膜和納米級(jí)低襯度襯底樣品的更多信息。可在3分鐘以內(nèi)實(shí)現(xiàn)高分辨的樣品測(cè)試（190-2100nm），校準(zhǔn)僅需幾分鐘。模塊化設(shè)計(jì)，可靈敏拓展，具有更好的可升級(jí)性能。UVISEL Plus是一款高準(zhǔn)確性、高靈敏度、高穩(wěn)定性的經(jīng)典橢偏機(jī)型。

主要特點(diǎn)

* 50kHz 高頻PEM 相調(diào)制技術(shù)，測(cè)量光路中無(wú)運(yùn)動(dòng)部件

* 具備超薄膜所需的測(cè)量精度，超厚膜所需的高光譜分辨率

* 具有毫秒級(jí)超快動(dòng)態(tài)采集模式，可用于在線實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)

* 自動(dòng)平臺(tái)樣品掃描成像、變溫臺(tái)、電化學(xué)反應(yīng)池、液體池、密封池等多種附件

* 配置靈活

規(guī)格參數(shù)

調(diào)制方式	相位調(diào)制+斬波器雙調(diào)制
調(diào)制頻率	50kHz
光譜范圍	190-920nm（可擴(kuò)展到2100nm） * UVISEL NIR (250 nm -2100 nm ) * UVISEL VIS (210 nm -880 nm ) * UVISEL FUV(190 nm -880 nm ) * UVISEL VUV(142 nm -880 nm )
光譜分辨率	<>
雜散光抑制率	<>
色散公式	≥ 31個(gè)
材料模型庫(kù)	≥ 300個(gè)
微光斑類型	反射式，全光譜消色差
微光斑可選	50μm，100μm，1mm（90度）
探測(cè)器	分別針對(duì)紫外，可見(jiàn)和近紅外提供優(yōu)化的PMT和IGA探測(cè)器
樣品臺(tái)	手動(dòng)/自動(dòng)，支持12英寸晶圓（可選）
自動(dòng)量角器	變角范圍35° - 90°，全自動(dòng)調(diào)整，最小步長(zhǎng)0.01°