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噴膠機 ASPAPRAY

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更新時間：2023-08-20 11:29:01瀏覽次數(shù)：297次

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設(shè)備配置2-4chamber（option:COT、DEV）設(shè)備產(chǎn)能20WPH襯底材質(zhì)Si、Glass等適用工藝深孔噴膠TSV、高深寬比臺階噴膠
設(shè)備配置 2-4 chamber（option: COT、DEV）
設(shè)備產(chǎn)能 20WPH
襯底材質(zhì) Si、Glass等
適用工藝 深孔噴膠TSV、高深寬比臺階噴膠.
工藝指標(biāo) 平面均勻性≤5%@5-10um；臺階覆蓋率≥30%
應(yīng)用領(lǐng)域 *封裝、MEMS、科研等
技術(shù)特征 ?適用于表面刻有深孔的高表面形貌圓形或方形基片的噴涂工藝要求，超聲波霧化光刻膠膠粒，可均勻覆蓋臺階表面，邊緣，側(cè)壁，底部；
?噴嘴配有自動清洗功能；
?設(shè)備可配置勻膠腔體和顯影腔體。
設(shè)備尺寸 2665*1724*2432mm（W*D*H）

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