蝕刻洗鋁防偽

防偽標(biāo)簽廠蝕刻洗鋁防偽技術(shù)可減少蝕刻腔體內(nèi)含鋁顆粒物的含量，使得干蝕刻制程中顆粒物掉落于待蝕刻膜層上的概率減少，解決了線路蝕刻殘留和短路的問(wèn)題，提高產(chǎn)品良率。

蝕刻洗鋁防偽步驟1：防偽標(biāo)簽廠提供一鋁膜基板，所述鋁膜基板包括襯底基板及設(shè)于所述襯底基板上的鋁膜，在所述鋁膜上涂布光阻層，采用光罩對(duì)光阻層進(jìn)行曝光顯影后形成光阻層圖形；

蝕刻洗鋁防偽步驟2：防偽標(biāo)簽廠提供一干蝕刻設(shè)備，所述干蝕刻設(shè)備具有蝕刻腔體，將帶有光阻層圖形的鋁膜基板放入所述蝕刻腔體中，向所述蝕刻腔體內(nèi)通入含氯氣體，對(duì)鋁膜基板進(jìn)行蝕刻，所述含氯氣體對(duì)鋁膜上未被光阻層圖形覆蓋的部分進(jìn)行蝕刻，得到設(shè)計(jì)圖案，在蝕刻過(guò)程中，控制所述蝕刻腔體內(nèi)的溫度與壓力，使含氯氣體與鋁膜反應(yīng)生成的氯化鋁保持氣體狀態(tài)，減少氯化鋁顆粒的生成；

蝕刻洗鋁防偽步驟3：采用抽氣設(shè)備抽出所述蝕刻腔體內(nèi)的大部分氣體，通入含氟氣體，通電解離后，含氟氣體的等離子體與蝕刻腔體內(nèi)殘留的氯化鋁發(fā)生反應(yīng)，含氟氣體中的氟元素與氯化鋁中的氯元素進(jìn)行置換，生成氟化鋁。