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深圳市中圖儀器股份有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 激光干涉儀，測(cè)長(zhǎng)儀，輪廓儀，壓力校驗(yàn)儀 |
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主營(yíng)產(chǎn)品： 激光干涉儀，測(cè)長(zhǎng)儀，輪廓儀，壓力校驗(yàn)儀 |
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更新時(shí)間：2016-10-10 17:21:05瀏覽次數(shù)：528
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SJ6000激光干涉儀采用美國(guó)進(jìn)口高穩(wěn)定氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速(約6分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗*力強(qiáng)、*穩(wěn)定性好的激光輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、高精度激光干涉信號(hào)處理系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，結(jié)合線性鏡組能實(shí)現(xiàn)0.5ppm精度的線性測(cè)量；結(jié)合相應(yīng)鏡組還能實(shí)現(xiàn)角度、直線度（平行度）、平面度、垂直度、回轉(zhuǎn)軸等參數(shù)的測(cè)量，并進(jìn)行動(dòng)態(tài)分析。
SJ6000激光干涉儀性能特點(diǎn)：
1.測(cè)量精度高、速度快，穩(wěn)定性好
①使用美國(guó)高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)
②以光波長(zhǎng)(633nm)為測(cè)量單位，分辨率可達(dá)nm級(jí)
③使用高速光電信號(hào)采樣和處理技術(shù)，測(cè)量速度可達(dá)到4m/s。
④配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測(cè)量精度
⑤分離式干涉鏡設(shè)計(jì)，避免了測(cè)量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變
2. 應(yīng)用范圍廣
①可以實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測(cè)
②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動(dòng)分析以及穩(wěn)定度等分析
③可實(shí)時(shí)監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析
3.軟件界面友好
①使用當(dāng)前熱門(mén)的軟件界面開(kāi)發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡(jiǎn)單。
②將靜態(tài)測(cè)量和動(dòng)態(tài)測(cè)量?jī)煞N功能合并到一個(gè)軟件中，更方便用戶(hù)切換測(cè)量類(lèi)型。
③向?qū)讲僮鳎鞒糖逦?，更符合?guó)內(nèi)用戶(hù)的使用習(xí)慣。
4 性?xún)r(jià)比高
性能達(dá)到了國(guó)外儀器的水準(zhǔn)，價(jià)格是國(guó)內(nèi)儀器的良心價(jià)。
SJ6000激光干涉儀功能：
SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、測(cè)量范圍大、分辨力高等優(yōu)點(diǎn)。通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)線性、角度、平面度、直線度（平行度）、垂直度、回轉(zhuǎn)軸等參數(shù)的精密測(cè)量，并能對(duì)設(shè)備進(jìn)行速度、加速度、頻率-振幅、時(shí)間-位移等動(dòng)態(tài)性能分析。
在相關(guān)軟件的配合下，可自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償方案，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)。
SJ6000激光干涉儀技術(shù)參數(shù)：
系統(tǒng)性能
² 測(cè)量方式：?jiǎn)晤l
² 穩(wěn)頻精度：0.05ppm
² 動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz
² 預(yù)熱時(shí)間：約6分鐘
² 工作溫度范圍：(0~40)℃
² 環(huán)境溫度范圍：(0~40)℃，環(huán)境濕度：(0~95)%RH
² 存儲(chǔ)溫度范圍：(-20~70)℃
環(huán)境補(bǔ)償示值誤差
² 空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
² 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
² 空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95) %RH
² 大氣壓力傳感器：±0.1kPa
線性測(cè)量
² 測(cè)量距離：(0~40)m
² 測(cè)量精度：0.5ppm (0~40)℃
² 測(cè)量分辨力：1nm
² 測(cè)量zui大速度：4m/s
角度測(cè)量
² 軸向量程：(0~15)m
² 測(cè)量范圍：±10°
² 測(cè)量精度：±(0.04%R)″ (R為顯示值，單位：″)
² 測(cè)量分辨力：0.1″
平面度測(cè)量
² 軸向量程：(0~15)m
² 測(cè)量范圍：±1.5 mm
² 測(cè)量精度：±(0.6%R+0.02 M2) μm (R為顯示值，單位：μm；M為測(cè)量距離，單位：m)
² 基板尺寸：180mm可調(diào)，360mm可調(diào)
測(cè)量分辨力：0.1μm
直線度測(cè)量
² 軸向量程：(0.1~4.0)m
² 測(cè)量范圍：±3mm
² 測(cè)量精度：±(0.5+0.1%R +0.1M2) μm (R為顯示值，單位：μm；M為測(cè)量距離，單位：m)
² 測(cè)量分辨力：0.01μm
垂直度測(cè)量
² 軸向量程：(0.1~3.0)m
測(cè)量范圍：±3mm
² 測(cè)量精度：±(0.5+0.5%R+0.2M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測(cè)量距離，單位：m)
² 測(cè)量分辨力：0.01μm/m
回轉(zhuǎn)軸精度測(cè)量
² 角度測(cè)量范圍：(0~360)°
² 測(cè)量精度：±1″
zui高轉(zhuǎn)速：10rpm
鋰電池供電，藍(lán)牙傳輸數(shù)據(jù)。
SJ6000激光干涉儀配置清單：
序號(hào) | 名稱(chēng) | 明細(xì) | 備注 |
1 | SJ6000主機(jī) | 1臺(tái)，配云臺(tái) | 標(biāo)配 |
2 | 環(huán)境補(bǔ)償單元 | 1套，配1個(gè)空氣溫度探頭和3個(gè)材料溫度探頭 | 標(biāo)配 |
3 | 筆記本電腦 | 1臺(tái)，配測(cè)量軟件 | 標(biāo)配 |
4 | 便攜式拉桿箱 | 1個(gè)，尺寸：560mm×460mm×270mm | 標(biāo)配 |
5 | 通用三腳架 | 1個(gè) | 標(biāo)配 |
6 | 線性鏡組 | 線性干涉鏡、線性反射鏡，各1個(gè) | 標(biāo)配 |
7 | 鏡組安裝配件 | 磁性座2個(gè) | 標(biāo)配 |
安裝柱4節(jié) | |||
輔助安裝塊2塊 | |||
夾緊塊2個(gè)(帶鎖緊螺絲) | |||
測(cè)頭夾具1個(gè)(內(nèi)徑：φ32mm) | 選配 | ||
8 | 輕型線性附件 | 小角錐反射鏡、縮光鏡，各1個(gè) | 選配 |
9 | 遠(yuǎn)距離線性附件 | 大角錐反射鏡、遠(yuǎn)距離分光鏡，各1個(gè) | 選配 |
10 | 可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡 | 可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡1個(gè) | 選配 |
11 | 角度鏡組 | 角度干涉鏡、角度反射鏡，各1個(gè) | 選配 |
12 | 平面度鏡組 | 平面度鏡組需要與角度鏡組組合使用 | 選配 |
平面度反射鏡2個(gè) | |||
180mm可調(diào)基板、360mm可調(diào)基板，各1個(gè) | |||
13 | 直線度鏡組 | 直線度干涉鏡、直線度反射鏡，各1個(gè) | 選配 |
直線度附件1套 | |||
14 | 垂直度鏡組 | 垂直度鏡組需要與直線度鏡組組合使用 | 選配 |
光學(xué)直角尺、垂直度安裝三腳架，各1個(gè) | |||
15 | 高精密轉(zhuǎn)臺(tái) | 鋰電池供電，藍(lán)牙傳輸 | 選配 |
16 | 工作服 | 夏、冬實(shí)驗(yàn)室工作服各1件 | 選配 |
