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X-RAY半導(dǎo)體膜厚儀

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

X-RAY半導(dǎo)體膜厚儀采用新改進(jìn)的基本參數(shù)法，無論是無標(biāo)準(zhǔn)片測(cè)量還是有標(biāo)準(zhǔn)片測(cè)量，都能快速并且準(zhǔn)確的獲得測(cè)量結(jié)果。為了簡(jiǎn)化樣品放置，X射線源和數(shù)字半導(dǎo)體接收器置于了 BA100 的底部，從而可以采用射線向上的測(cè)量技術(shù)。

詳細(xì)介紹

X-RAY半導(dǎo)體膜厚儀主要特點(diǎn)包括：
+ 成本低、快速、非破壞的分析。 
+ 可完成至多4層鍍層（另加底材）和15個(gè)元素的鍍層厚度測(cè)試，自動(dòng)修正X射線重疊譜線。 
+ 的多元素辨識(shí)，廣泛覆蓋元素表上從鋁（原子序數(shù)13號(hào)）到鈾（92號(hào)）各元素，測(cè)厚行業(yè)20年知識(shí)和經(jīng)驗(yàn)的積淀。
+ 可分析的樣品種類繁多，包括固體、液體、粉末、糊狀物、薄膜等，檢測(cè)從ppm級(jí)至高達(dá)百分含量的濃度范圍，覆蓋元素周期表中從AL13到U92間的元素。
+ 可分析多種樣品形狀和尺寸：可分析多種樣品類型，從微小的電子元件到浴室配件，提供多種硬件供選配，滿足各種需要.

X-RAY半導(dǎo)體膜厚儀
是利用X射線熒光（XRF）進(jìn)行鍍層厚度測(cè)量和材料分析，提高過程和質(zhì)量控制。
采用新改進(jìn)的基本參數(shù)法，無論是無標(biāo)準(zhǔn)片測(cè)量還是有標(biāo)準(zhǔn)片測(cè)量，都能快速并且準(zhǔn)確的獲得測(cè)量結(jié)果。為了簡(jiǎn)化樣品放置，X射線源和數(shù)字半導(dǎo)體接收器置于了 BA100 的底部，從而可以采用射線向上的測(cè)量技術(shù)。
可以勝任測(cè)量傳統(tǒng)的鍍層厚度測(cè)量?jī)x器由于X-射線熒光強(qiáng)度不夠而無法測(cè)量到的結(jié)構(gòu)。


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