在線壽命和電阻率掃描儀

MDPlinescan被設(shè)計(jì)成一個(gè)易于集成的OEM單元，用于集成到各種自動(dòng)化檢測上。關(guān)鍵測量是少子壽命掃描。樣品通常由測量探頭下面的傳送帶或機(jī)器人系統(tǒng)傳送。應(yīng)用實(shí)例范圍從磚塊到晶片檢查，測量速度小于每晶片一秒。電池生產(chǎn)線的進(jìn)料質(zhì)量調(diào)查是常見的應(yīng)用案例，以及在鈍化和擴(kuò)散之后的工藝質(zhì)量檢查，在許多其他的專業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域也有很大的可能性。只需要集成以太網(wǎng)連接和電源就可以了。包括附加電阻率測量選項(xiàng)。

優(yōu)勢

• 在µ-PCD或穩(wěn)態(tài)激發(fā)條件下測量少子壽命和電阻率線掃描是該儀器設(shè)計(jì)的重點(diǎn)。
  

• 集成OEM單元的生產(chǎn)，用于多晶或單晶硅晶片在不同工藝階段直至器件、磚塊或錠子的生產(chǎn)線的整合。
  

• 小尺寸和標(biāo)準(zhǔn)自動(dòng)化接口易于集成。重點(diǎn)在于測量結(jié)果的長期可靠性和精密度。