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蘇州德龍激光股份有限公司


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碳化硅晶圓激光切割設(shè)備

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地蘇州市

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更新時(shí)間：2024-07-31 15:12:25瀏覽次數(shù)：128次

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：29條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

型號(hào)：Inducer-5560，本設(shè)備是利用超短脈沖激光實(shí)現(xiàn)碳化硅晶圓高質(zhì)量，高效率的切割加工

詳細(xì)介紹

型號(hào)：Inducer-5560，本設(shè)備是利用超短脈沖激光實(shí)現(xiàn)碳化硅晶圓高質(zhì)量，高效率的切割加工





◆ 切割速度快，切割效果好，良率高

◆ 提供整套的裂片&擴(kuò)片設(shè)備，完整的解決方案

◆ 工藝成熟，可針對(duì)不同類(lèi)型的碳化硅晶圓進(jìn)行切割






◆ 加工對(duì)象：碳化硅晶圓

◆ 激光種類(lèi)：紅外皮秒脈沖激光器

◆ 激光功率：≥4W

◆ 冷卻方式：風(fēng)冷

◆ X軸：行程450mm，解析度0.1um

◆ Y軸：行程700mm，解析度0.1um

◆ Z軸：行程20mm， 解析度0.1um

◆ θ軸：行程120°，解析度0.001°

◆ 切割厚度：1mm

◆ 切割軸速度值：500mm/s

◆ 加工尺寸：6寸（可升級(jí)至8寸）





▌應(yīng)用材料和領(lǐng)域：

應(yīng)用于航天航空、電力電子等行業(yè)微波器件，功率器件的晶圓片的切割（以碳化硅材料為基板的晶圓）


▌加工效果示例圖：

  





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