ZLM800雙頻激光干涉儀是德國Jenaer公司生產(chǎn)的新一代激光干涉儀。把性能穩(wěn)定的氦氖氣體激光與電子電路相結(jié)合,可制造出新型的干涉儀測量系統(tǒng)。 可編程ASIC裝置可根據(jù)用戶的要求,可提供的個性話測量系統(tǒng)。 ZLM800激光干涉儀廣泛應(yīng)用于獨立校準(zhǔn)系統(tǒng)、多軸定位系統(tǒng),及快速動力學(xué)的全部控制系統(tǒng)。它還可*評估機器及機械的動力學(xué)動作,以便通過WINDOWS軟件,按用戶規(guī)定的方式對該動作進行分析。 所有模塊化系統(tǒng)均配有超級蔡司光學(xué),ZLM800激光干涉儀為用戶所有的應(yīng)用測量系統(tǒng)提供*的解決方案:  | - 位置
- 距離
- 速度
- 加速度
- 角度
- 振動
- 直度
- 垂直度
- 平坦度
- 整齊度
| 工作模式 型ZLM800激光干涉儀使用氦氖氣體激光,在雙頻外差中工作。 激光熱穩(wěn)定性為0.002 ppm,兩種模式的640MHz頻率用于信號處理相當(dāng)于四倍。這種高頻處理信號可以對運動速度非常塊的物體進行測量,而沒有干擾誤差,信號延時非常短。 干涉儀光學(xué)到PC插槽上電子計數(shù)器電路信號的傳輸通過光纖電纜來進行,它可阻止外部電磁環(huán)境的干擾。因此ZLM800適用于惡劣的生產(chǎn)環(huán)境、標(biāo)準(zhǔn)測量環(huán)境及高真空環(huán)境。 作為PC插槽的替代品,可使用獨立的數(shù)據(jù)處理電子單元,它帶有多個接口,用于數(shù)據(jù)輸出、連接閉環(huán)控制回路。該型號的干涉儀可以擴展為五軸測量。 要點 - 被測物體zui大速度16m/s
- 無干擾誤差時的分辨率2.5nm(帶平面鏡干涉儀時為1.25nm)
- 加速度無限制
- 即使非常低的光線水平,探測信號也十分穩(wěn)定
- 信號延時<200 ns
- 激光壽命內(nèi),頻率穩(wěn)定
- 對電磁干擾不敏感
- 適用于超級蔡司光學(xué)的高真空
| |  | 可靠性測量方法 通過相關(guān)的測量工具及簡單的操作,ZLM800干涉儀可完成可靠穩(wěn)定的測量任務(wù),*符合ISO9000/9004標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范。 ZLM800系統(tǒng)增加了測量的可靠性和穩(wěn)定性 世界范圍內(nèi),ISO9000/9004是產(chǎn)品質(zhì)量控制管理的統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn),嚴(yán)格根據(jù)該標(biāo)準(zhǔn)來進行的質(zhì)量檢測,可以保證任何制造企業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量的性能。 測量的穩(wěn)定性由測量工具、測量方法和操作者等多方面因素決定,調(diào)整系統(tǒng)的測量誤差會*影響穩(wěn)定性。  一種新的測量助手,通過軟件可以zui大限度減小整個測量系統(tǒng)的調(diào)整誤差。兩個四象限傳感器置于激光測量頭內(nèi), 一個用作測量光束,一個用作參考光束,保證了干涉儀系統(tǒng)能夠以*的方式與被測的物體相對齊。由于大屏幕顯示,對齊會顯得非常敏感。 使用調(diào)整助手的優(yōu)點: - 系統(tǒng)調(diào)整精度顯示的建立時間zui小化
- 即使在zui復(fù)雜的設(shè)置中,激光頭的調(diào)整是必要的程序
- 通過zui高的可靠性能來解決調(diào)試的任務(wù)
智能化測量方法 ZLM800信號處理電路是以可變成ASIC裝置為基礎(chǔ)的。對于雙頻激光干涉儀ZLM800,在測量工作中,不同信號之間的相互作用,是*沒有問題的。 ZLM800可以與外部計數(shù)系統(tǒng)相連接。使得測試設(shè)備和激光測試儀的比較符合常規(guī)、節(jié)約時間。該過程使用實時信號偶合,按照德標(biāo)或標(biāo)準(zhǔn)對數(shù)據(jù)進行分析。 激光測試儀作為zui準(zhǔn)確三維測量工具,測量數(shù)據(jù)易于記錄,不易丟失。這些優(yōu)點使得ZLM800激光測試儀是機器設(shè)備校準(zhǔn)和鑒定使用德理想選擇。 評估標(biāo)準(zhǔn) 精準(zhǔn)的測量方式 即使選用標(biāo)準(zhǔn)的配置,ZLM800激光測試儀的分辨率也能夠達(dá)到5nm,測量誤差優(yōu)于1µm/m。這是基于環(huán)境條件(特殊情況下的物質(zhì)溫度)通過AUK500自動環(huán)境補償儀(氣象站)*記錄下來的情況,并且周圍環(huán)境情況與測量室內(nèi)條件*。 使用ZLM800激光干涉儀,使得長度測量設(shè)備和比較設(shè)備的校準(zhǔn)變得更為容易和簡單。  | | 周圍環(huán)境對測量結(jié)果的影響可通過AUK500自動環(huán)境補償器或手工輸入來修正。zui多可使用5個物質(zhì)溫度傳感器來補償被測物體的線性偏移。 | 簡便的測量方式 ZLM800激光干涉儀帶有WINDOWS™數(shù)據(jù)分析軟件,使得長度測量精度極為準(zhǔn)確,而且對數(shù)據(jù)的分析也極為方便。 可隨意登陸測量數(shù)據(jù)、表格和圖表,并且可充分利用WINDOWS™程序的各種優(yōu)勢。無論是測量位置、角度或者是直線度,由Carl Zeiss設(shè)計的軟件可以集成到任何的微軟WINDOWS™系統(tǒng)中。測量、分析、記錄和數(shù)據(jù)存檔過程都可在短時間內(nèi)輕松任意的完成。 在程序設(shè)計的過程中,用戶zui關(guān)心的一個問題是測量結(jié)果的記錄。集成式記錄編輯器使得編輯和打印某條圖表、表格和用戶增加的內(nèi)容更為容易。所有記錄的內(nèi)容都可通過剪貼板上的中間編輯器來導(dǎo)出到文字處理器里。  | | 在準(zhǔn)備和測量的過程中,zui重要的信息項目要進行明顯的顯示。通過使用鼠標(biāo)或很少的幾個按鍵,就可進入所有的功能程序中。 | 要評估和分析測量的數(shù)據(jù),通過簡單的操作,就可生成各種圖形和表格。甚至某些極小的細(xì)節(jié)都可囊括進去。 | |  |  | | 測得的數(shù)據(jù)可以在文檔卡中存檔。通過卡片標(biāo)簽,可以多某些特殊數(shù)據(jù)進行快速檢索,甚至從大量數(shù)據(jù)中進行檢索。 | 干涉儀長度測量的*性能類別 測量 | 校準(zhǔn)、定位、對齊 - 機械誤差補償
- 主軸導(dǎo)線誤差補償
- 螺距誤差補償
| 控制 | ZLM800雙頻激光干涉儀技術(shù)參數(shù) 真空中氦氖激光平均波長 | 632.8 nm | 波長穩(wěn)定性 | 2*10-9 一個小時 2*10-8 壽命周期內(nèi) | 激光束直徑 | 6mm (可選3.2mm) | 應(yīng)急擴展激光束zui大輸出 | 1mW | 每束激光測量軸數(shù)量 | 1, zui多可選擇6個 | 距離測量范圍 | 130英尺,zui多可選390英尺 | 角度測量范圍 | ±15°,長度zui大65英尺 | 直線度測量范圍 | ±0.195英寸, 長度6.5英尺,或32.5英尺 | zui大速度 | | 線性 | <4m/s,可選16m/s | 角度 | <320 rad/s | 距離分辨率 | | 立體角鏡干涉儀 | 2.5nm (可選0.3nm) | 平面鏡干涉儀 | 1.25nm (可選0.1nm) | 非線性度 | | 立體角鏡干涉儀 | ± 1.25nm | 平面鏡干涉儀 | ± 0.62nm | 角度分辨率 | 0.62*10-7rad | 直線度分辨率 | 145 nm,32.5時 29 nm, 6.5英尺 | 接口 | 正交信號 32bit(實時時間) Δt≈20ns | 內(nèi)部環(huán)境 | 15°C ... 30°C 光學(xué)/高真空 | |