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CDG025D環(huán)境電容式膜片真空計(jì)

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CDG025D環(huán)境電容式膜片真空計(jì) INFICON SKY CDG025D 電容隔片真空計(jì)系列的高精度 溫度補(bǔ)償型壓力計(jì)可以在惡劣的 生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定性能。 高級(jí)數(shù)字電子元件用于改進(jìn) 真空計(jì)的性能，具有一鍵調(diào)零功能 和設(shè)定點(diǎn)調(diào)整等易于操作的特性。 防腐蝕超純陶瓷傳感器提供 優(yōu)異的零點(diǎn)穩(wěn)定性， 預(yù)期使用壽命長(zhǎng)達(dá)數(shù)百萬(wàn)次壓力循環(huán)（包括氣壓突變）。 的傳感器屏蔽（正在申請(qǐng)）用于保護(hù) 真空計(jì)，使其免受加工污染。 堅(jiān)固的機(jī)械設(shè)計(jì)和數(shù)字 電子元件可以改進(jìn)電磁兼容性 (EMC)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和溫度 補(bǔ)償。 CDG025D 電容隔片真空計(jì)為開(kāi)機(jī)后快速穩(wěn)定 以及從大氣氣壓中快速恢復(fù)的功能樹(shù)立了新的標(biāo)準(zhǔn)。

詳細(xì)介紹

益處

  • 全刻度范圍從 100 毫托 … 1000 托
  • 電源接通后快速穩(wěn)定
  • 暴露于大氣壓后快速恢復(fù)
  • 防腐陶瓷傳感器
  • 的長(zhǎng)期信號(hào)穩(wěn)定性
  • 溫度補(bǔ)償
  • 傳感器防污染保護(hù)
  • 一鍵調(diào)零功能
  • 電源范圍廣

典型應(yīng)用

  • 用于刻蝕、CVD、PVD、ALD 的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備
  • 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和顯示制造設(shè)備
  • 工業(yè)真空設(shè)備
  • 常規(guī)高精度壓力測(cè)量

規(guī)格

類(lèi)型 1000 Torr / 1100 mbar 500 ... 10 Torr / mbar 1 Torr / mbar 0.25 Torr 0.1 Torr / mbar
精度 (1) % of reading 0.2 0.2 0.2 0.25 0.5
溫度效應(yīng)          
零點(diǎn) percent FS/°C 0.005 0.005 0.015 0.02 0.02
滿量程 % of reading / °C 0.01 0.01 0.01 0.03 0.03
分辨率 percent FS 0.003 0.003 0.003 0.003 0.003
壓力， kPa (absolute) 400 260 260 130 130
反應(yīng)時(shí)間 (2) ms 30 30 30 130 130
讀數(shù) percent FS 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
建議的讀數(shù) percent FS 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05
建議的控制壓力 percent FS 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
溫度          
運(yùn)行（環(huán)境） °C +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50
在法蘭處烘烤 (3) °C ≤110 ≤110 ≤110 ≤110 ≤110
貯存 °C –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65
電源電壓 V (dc) +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30
CDG025D環(huán)境電容式膜片真空計(jì)     

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