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磁場消除系統(tǒng)（主動(dòng)消磁器）HSR-2iX系列

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產(chǎn)品型號(hào)HSR-2iX系列

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聯(lián)系人：陳冬

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產(chǎn)品簡介

HSR2iX系列磁場消除系統(tǒng)由磁傳感器感知單元、磁場發(fā)生單元、磁場控制單元、顯控單元等構(gòu)成。綜合了低噪聲磁敏感技術(shù)、消磁線圈優(yōu)化設(shè)計(jì)技術(shù)、磁場自動(dòng)控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了對寬頻帶雜散磁場的自動(dòng)跟蹤補(bǔ)償，達(dá)到穩(wěn)定磁場的目的。根據(jù)具體用途，HSR2iX系列磁場消除系統(tǒng)具有三種不同型號(hào)：HSR-2i01、HSR-2i02和HSR-2i03。（特殊情況可定制）

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品概述

HSR-2iX系列磁場消除系統(tǒng)說明

1、系統(tǒng)組成

磁場消除系統(tǒng)主要由磁傳感器感知單元、磁場發(fā)生單元、磁場控制單元、顯控單元等構(gòu)成等幾部分組成。

2、工作原理

通過三分量磁場傳感器實(shí)現(xiàn)雜散磁場的感知，并將感知到的信號(hào)送入智能磁場控制單元；智能磁場控制單元實(shí)時(shí)產(chǎn)生一個(gè)電流信號(hào)，該電流通過磁場產(chǎn)生單元產(chǎn)生與雜散磁場方向相反、大小相等的磁場，在工作區(qū)實(shí)現(xiàn)了磁場的疊加從而得到穩(wěn)定的磁場環(huán)境。

3、磁場產(chǎn)生單元

磁場產(chǎn)生單元實(shí)際上就是三軸磁場線圈，該線圈用以產(chǎn)生與雜散磁場方向相反、大小相等的磁場。

磁場產(chǎn)生單元結(jié)構(gòu)根據(jù)場地的需要可以多樣化安裝，一般有兩種結(jié)構(gòu)。種是采用獨(dú)立的磁場線圈框架套在電鏡外側(cè)；第二種是無需要線圈框架，直接將消磁電纜穿入無磁線槽后固定在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)墻表面或埋入墻體。由于磁場是矢量，通常需要在X、Y、Z三個(gè)方向產(chǎn)生穩(wěn)定的磁場。

4、磁傳感器感知單元

綜合考慮磁場抵消后磁場的噪聲、穩(wěn)定性和抵消磁場帶寬的要求，選擇合適的三分量磁通門傳感器實(shí)現(xiàn)磁場感知功能。【以用戶實(shí)際要求或者勘測場地后測試數(shù)據(jù)為準(zhǔn)】

5、磁場控制單元(Magnetic Control UNIT)

磁場控制單元是磁場消除系統(tǒng)的核心，主要通過高精度傳感器感知的磁場信號(hào)，進(jìn)而通過快速跟蹤算法實(shí)時(shí)消除磁場的擾動(dòng)，保證工作空間磁場基本處于穩(wěn)定無波動(dòng)狀態(tài)。

磁場控制單元采用220V交流供電，非常容易在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)應(yīng)用。

6、顯控軟件

顯控軟件主要有三大功能。

(1) 數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)顯示功能：實(shí)時(shí)顯示磁場的曲線數(shù)據(jù)，便于評估磁場環(huán)境的質(zhì)量。

(2) 超限報(bào)警功能：根據(jù)預(yù)設(shè)的磁場限制，進(jìn)行報(bào)警。

★★★ 消除效果：

※衰減系數(shù)：α= 20×lg(B1/B2)

※頻率越低，消磁效果越好，本實(shí)驗(yàn)選取了 50Hz 的干擾比較實(shí)驗(yàn)效果。

※X軸方向?qū)?50Hz 干擾消磁前后對比

消磁前：0.069V×1000×10=690nT

消磁后：0.00019V×1000×10=1.9n

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)	HSR2iO1	HSR2iO2	HSR2iO3
用途	消除所有類型電子顯微鏡的交流磁場	消除所有類型電子顯微鏡的交流和直流磁場	消除半導(dǎo)體潔凈室中CDSEM工具的12kHz磁場。也可以消除這些工具的交流和直流磁場
消磁線圏	干擾磁場消除繞組系統(tǒng)自檢繞組	固有地磁場消除繞組干擾磁場消除繞組系統(tǒng)自檢繞組	固有地磁場消除繞組干擾磁場消除繞組系統(tǒng)自檢繞組
待消除磁場	X,Y,Z磁場	X,Y,Z 磁場	X.YZ 磁場
磁場測量類型	AC RMS and pk-pk	Real time field AC RMS and pk-pk DC incremental	Real time field AC RMS and pk-pk DC incremental
測量精度	±0.5% Reading ± 100pT	±0.5% Reading ± 1 nT	±0.5% Reading ± 1 nT
磁場動(dòng)態(tài)范圍	<60 mG （6.0µT）	<4.8 µT pk-pk	5 μT pk-pk
頻率帶寬	25 Hz 至 3kHz	DC 至 5 kHz	DC 至 12 kHz
噪聲限值	<0.7nT RMS(0.1 Hz ~ 3 kHz)	1.5nTRMS(0.1Hz ~ 5 kHz)	0.5 nT RMS(0.1 Hz - 12 kHz)
直流漂移	N/A	< 2 nT/ 24 hours	< 2 nT/ 24 hours
直流磁場限值	N/A	± 200 μT max	± 200 μT max
系統(tǒng)響應(yīng)時(shí)間	10 µs 內(nèi)	10 µs 內(nèi)	2µs 內(nèi)
磁場穩(wěn)定性	<2 nT/24 h@ (20°C?25°C,預(yù)熱0.5 h)
衰減系數(shù)	>50 dB @0.1 Hz >30 dB @50 Hz	>60 dB @0.1 Hz >40 dB @50 Hz >20 dB @5 kHz	>60 dB @0.1 Hz >40 dB @50 Hz >20 dB @10 kHz

應(yīng)用領(lǐng)域

1. 生命科學(xué)領(lǐng)域的冷凍電鏡

2. 材料科學(xué)領(lǐng)域的掃描電鏡

3. 化工領(lǐng)域中的原理分析用電鏡

4. 半導(dǎo)體工藝中的缺陷分析用電鏡

5. 納米制造領(lǐng)域的加工精度保證

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