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蘇州天弘激光股份有限公司


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晶圓激光背切機(jī)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

設(shè)備廣泛應(yīng)于 GPP晶圓的劃線切割該設(shè)備主要針對(duì) GPP 晶圓開發(fā)的一種自動(dòng)切片設(shè)備，配備雙面 CCD 識(shí)別功能

詳細(xì)介紹

激光器功率:
20W/30W
加工幅面:
4 inch

產(chǎn)品特點(diǎn)：

 

» 該設(shè)備主要針對(duì) GPP 晶圓開發(fā)的一種自動(dòng)切片設(shè)備，配備雙面 CCD 識(shí)別功能
» 下 CCD 功能解決傳統(tǒng)設(shè)備需要晶圓背面蝕刻線槽才能對(duì)位切割的工序，無(wú)需背面開槽即可切割
» 同時(shí)可集成上 CCD 對(duì)位晶圓背面蝕刻線槽切割的功能，一機(jī)兩用
» 配備自動(dòng)裂片設(shè)備，操作簡(jiǎn)便效率高
» 設(shè)備廣泛應(yīng)于 GPP晶圓的劃線切割

規(guī)格參數(shù)：

 

設(shè)備型號(hào) TH-4212
激光類型 紅外 IR
激光波長(zhǎng) 1064nm
激光功率 20W/30W
加工晶圓尺寸上限 4 inch
劃線速度 150mm/s、200mm/s
劃線線寬 40~50μm
劃線線深 50-120μm
系統(tǒng)定位精度 5μm
重復(fù)定位精度 2μm
激光器使用壽命 10 萬(wàn)小時(shí)
機(jī)器外型尺寸 1280x900x1620mm
整機(jī)重量 700kg

 

樣品展示：

 

晶圓背切樣品

晶圓背切樣品

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