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行業(yè)產(chǎn)品

  • 行業(yè)產(chǎn)品

武漢華工激光工程有限責(zé)任公司


晶圓激光改質(zhì)切割設(shè)備

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地武漢市

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更新時(shí)間：2023-09-21 09:50:09瀏覽次數(shù)：529次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

本設(shè)備針對(duì)8英寸及以上芯片封測(cè)廠，應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)硅基晶圓激光改質(zhì)切割。 重復(fù)定位精度 ±1μm 加工頭 自制準(zhǔn)直頭 晶圓尺寸 8 inch（可兼容12inch）

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
  • 01
    加工質(zhì)量高

    表面無(wú)損傷，無(wú)切縫，崩邊極?。ā?μm），邊沿蜿蜒?。?3μm）


  • 02
    加工效率高

    可采用多焦點(diǎn)改質(zhì)模式，成倍提高切割效率


  • 03
    加工穩(wěn)定性好

    激光器平均功率穩(wěn)定性高（≤±3% over 24 hours），光束質(zhì)量高（M2 <1.5) 


技術(shù)參數(shù)
內(nèi)容主要技術(shù)參數(shù)
激光器參數(shù)中心波長(zhǎng)定制紅外波長(zhǎng)
加工頭自制準(zhǔn)直頭
加工性能有效工作行程300×400mm（選配）
重復(fù)定位精度± 1 μm
視覺定位自動(dòng)視覺定位
加工方式逐層改質(zhì)、單點(diǎn)/多點(diǎn)加工方式
其他晶圓尺寸8 inch（可兼容12inch）
工藝流程激光改質(zhì)切割— 擴(kuò)膜
加工對(duì)象MEMS芯片 、硅基生物芯片 、硅麥芯片、CMOS芯片等 


樣品展示


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