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行業(yè)產(chǎn)品

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半導(dǎo)體晶圓厚度測量設(shè)備

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地武漢市

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更新時(shí)間：2023-09-21 09:44:15瀏覽次數(shù)：635次

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產(chǎn)品簡介

面向半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上游的原材料生產(chǎn)企業(yè)，采用獨(dú)立開發(fā)的光譜共焦測量系統(tǒng)，對半導(dǎo)體原片、外延片的尺寸和平面度進(jìn)行檢測。 重復(fù)精度 ±0 . 1 μm 檢測厚度 ± 1 mm 整機(jī)尺寸（mm） 1800*1300*2250

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品優(yōu)勢
  • 01
    適用范圍廣

    用于各種材質(zhì)各種拋光狀態(tài)的4—8英寸原片、襯底及外延片


  • 02
    測量精度高

    厚度范圍:0—1mm 測量精度:士1μm 重復(fù)精度:0.2μm 


  • 03
    測量時(shí)間短

    測量時(shí)間:30s/pcs(依據(jù)客戶檢測軌跡) 


技術(shù)參數(shù)
項(xiàng)目主要技術(shù)參數(shù)
常規(guī)參數(shù)Wafer尺寸4" , 6"
料盒數(shù)量雙層，  14 pcs
上下料方式機(jī)械手，  Mapping掃描
運(yùn)動(dòng)平臺X行程150mm，
Y行程150mm，		重復(fù)精度 ±0 . 1 μm
重復(fù)精度 ±0 . 1 μm
產(chǎn)能4" , 240WPH     6" ,  220WPH
檢測性能檢測功能晶圓（貼膜晶圓）厚度、TTV、翹曲度
厚度測試精度±0 .5 μm，  重復(fù)性：  0 . 1 μm（連續(xù)測試25片，  每片測試5點(diǎn) ）
厚度范圍± 1 mm
TTV測試精度±0 .5 um，  重復(fù)性：  0 .2 μm
翹曲度測試精度± 2 μm，  測試范圍：   ± 600μm，  重復(fù)性：  1 μm
使用環(huán)境供電規(guī)格AC220V,50Hz
氣源要求0.5-0.7Mpa壓縮空氣，無明顯水汽和油脂
設(shè)備重量溫度15-40℃。濕度要求30%-70%，無凝霜
整機(jī)尺寸1800mm*1300mm*2250mm


樣品展示


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