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蘇州中芯啟恒科學(xué)儀器有限公司
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微流控芯片的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)一般深寬比較大，針對(duì)微流控芯片這一特點(diǎn)，中芯啟恒自主研發(fā)生產(chǎn)了Cchip-0019適用于高深寬比工藝的光刻機(jī)。該設(shè)備采用目前的LED光源，紫外波長(zhǎng)365nm，光源純度高，輻射能量均一可調(diào)...
1. 產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
微流控芯片的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)一般深寬比較大，針對(duì)微流控芯片這一特點(diǎn)，中芯啟恒自主研發(fā)生產(chǎn)了Cchip-0019適用于高深寬比工藝的光刻機(jī)。該設(shè)備采用目前最*的LED光源，紫外波長(zhǎng)365nm，光源純度高，輻射能量均一可調(diào)。設(shè)備配有智能化觸摸屏操作面板，外觀比較傳統(tǒng)光刻機(jī)體積更小，集成化度更高，不僅簡(jiǎn)化了操作流程，還進(jìn)一步提高了工藝效率。
不僅如此，我們還對(duì)曝光系統(tǒng)進(jìn)行了優(yōu)化，將曝光過(guò)程中衍射誤差降到極限，保證圖案設(shè)計(jì)值與實(shí)際值一致，從而為芯片制作保駕護(hù)航。
以下是客戶實(shí)測(cè)圖片，結(jié)構(gòu)高度92um，間距20um，請(qǐng)參考！
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