EZ4小巧型勻膠機

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更新時間：2023-07-03 13:32:37瀏覽次數(shù)：289次

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蘇州中芯啟恒科學儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

EZ4勻膠機適用于給小碎片至4英寸晶圓大小的基底旋涂光刻膠及其他試劑，使用工業(yè)級直流馬達和單片機控制，文本顯示器人機界面。EZ4勻膠機設計結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱內(nèi)操作...

詳細介紹

產(chǎn)品簡介：

EZ4勻膠機適用于給小碎片至4英寸晶圓大小的基底旋涂光刻膠及其他試劑，使用工業(yè)級直流馬達和單片機控制，文本顯示器人機界面。EZ4勻膠機設計結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱內(nèi)操作。EZ4采用全陽極氧化鋁面板外殼，PP材料內(nèi)腔，經(jīng)久耐用。

產(chǎn)品性能參數(shù)：

1. 支持wafer尺寸：1cm-150mm（6"圓晶）

2. 速度可調(diào)范圍：100-10000rpm

3. 加速度可調(diào)范圍：100-10000rpm/s

4. 轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm

5. 轉(zhuǎn)速精度：＜±5rpm

6. 可編程5組5步程序

7. 寬電壓輸入：AC100-230V

8. 產(chǎn)品外型尺寸：250mm(D)*210mm(W)*204mm(H)

產(chǎn)品特性優(yōu)點：

1. 75W 直流無刷電機，單片機控制

2. 高清晰文本顯示器