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山東東南儀誠(chéng)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備有限公司


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日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機(jī)V1000

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

使用等離子的表面處理裝置

詳細(xì)介紹

使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡(jiǎn)單”的臺(tái)式 
高性能型號(hào)，調(diào)取數(shù)據(jù)簡(jiǎn)單，以電子材料為中心，可對(duì)應(yīng) 
多種用途。 
●可變更電極構(gòu)造提高等離子效果。 
●搭載高精度適配器，高性能RF電源。 
●可根據(jù)需求規(guī)格提供定制。 
特征 
●硅晶圓的灰化及蝕刻 
●基板表面污垢處理 
●IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理 
●半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗 
●自然氧化膜·有機(jī)物去除 
●界面活性處理 
●表面污染物去除
等離子模式 DP/RIE
高頻電源 13.56MHz
輸出功率 Max1000W
有效電極尺寸 W280×D280mm
電極 平行平板
反應(yīng)氣體 聚合控制器2系統(tǒng)（填充氣路另行安裝）
真空泵（標(biāo)配） 約1000L/min
安全裝置 門(mén)檢測(cè)開(kāi)關(guān)、聯(lián)鎖機(jī)構(gòu)、緊急停止開(kāi)關(guān)、溫度過(guò)升防止器等


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