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全自動光罩對準曝光機

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更新時間：2023-06-06 09:33:44瀏覽次數：454次

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產品簡介

產品簡介： 全自動機型之晶圓傳送為自動輸入與輸出， 自動對位曝光，可一天24小時操作，減少人力需求，提高可靠性，增加產量， 本公司開發(fā)之高產量全自動曝光機， 對位制程每小時可產出250片以， 無對位制程每小時可產出350片以上， 產量為業(yè)界，兩倍于其他廠牌機型。

詳細介紹

全自動光罩對準曝光機

適合工業(yè)界24小時量產使用
產品簡介：

全自動機型之晶圓傳送為自動輸入與輸出， 自動對位曝光，可一天24小時操作，減少人力需求，提高可靠性，增加產量， 本公司開發(fā)之高產量全自動曝光機， 對位制程每小時可產出250片以， 無對位制程每小時可產出350片以上， 產量為業(yè)界，兩倍于其他廠牌機型。

曝光燈源

紫外光源機型有功率 : 350W，500W，1000W，2000W，3500W，5000W 。

曝光光源尺寸 : 4″，6″，8″，10″，12″ 。

波長 : NUV(含365nm，400nm，435nm)，光源平行半角 : 1.5~2.5度(依出光口徑) 。

均勻度: +-3~5%，高壓汞燈泡及電源供應器。

影像系統(tǒng)

采用固定倍率鏡頭， 預對臺一支或兩支鏡頭做粗定位， 進片位置兩支鏡頭做初步對位， 曝光位置兩支鏡頭做精密對位。

相機可采類比或數位，可使用百萬晝素相機， 由PC之客制化對位軟體，做影像自動對位。

影像打光有 : LED同軸光或環(huán)形光， 可選背面對準影像系統(tǒng)機型。

預對臺

可將來自輸入臺的基板作靠邊粗定位， 以便進片手臂送至對準臺做精密對準。

輸出入小手臂

左手小手臂可輸入預對臺上之基板至對準臺, 與取出曝光后之基板至輸出臺。

基板輸入和輸出臺

晶舟輸入臺由基板推入器將基板傳至預對臺.曝光后的基板， 由導出臺傳至輸出臺之晶舟，未完成之基本移至退片臺。

自動對準臺

光罩真空吸盤 : 上吸式或下吸式 4″， 5″，6″，9″ 。

晶圓真空吸盤 : 2″， 4″， 6″，8″ 具光罩晶圓水平校正功能。

曝光模式可選 : 真空接觸式與近接式， X，Y，T軸馬達調整 10mm，解析度 1um， Z軸馬達調整 5mm，解析度 1um，

上光罩開啟以取放基板， 自動對準動作依自動對準軟體計算結果由PLC控制調整。

操作系統(tǒng)

PLC及人機界面控制系統(tǒng)和工業(yè)電腦之自動對準軟體， 作基板輸出入及對準曝光程序自動操作。

機座

具四個防震氣墊，具調整腳及移動輪， 鋁擠型機架加鋁板及黃色PVC抗靜電包覆機臺， 開數個操作與維修門窗及視窗。

性能

產量依對位精度及曝光時間而不同， 近接曝光機型可達每分鐘 5片，

采真空接觸曝光圖形解析可達 1um以內， 采近接式曝光依晶圓與光罩間距設定約在 5~10um。

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