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行業(yè)產(chǎn)品

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中普尼實業(yè)集團（海南）有限公司


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等離子去膠設(shè)備CPN-GP02—QJ4

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更新時間：2023-06-29 12:50:02瀏覽次數(shù)：168次

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產(chǎn)品簡介

用于生產(chǎn)半導(dǎo)體干法工藝中芯片表面光刻膠的干法去除，并且也可兼做刻蝕工藝

詳細介紹

用于生產(chǎn)半導(dǎo)體干法工藝中芯片表面光刻膠的干法去除，并且也可兼做刻蝕工藝。本設(shè)備具有體積小、美觀大方、效率高等特點，特別適合科研單位和小企業(yè)使用。

主要技術(shù)參數(shù)：

 1.主機電源：380V/50Hz    0.8KW

 2.振蕩功率：200W

 3.工作頻率：13～18MC

 4.去膠速率：900～1200Å/min

 5.氧氣流量：10500ml/min

 6.裝片容量：25片/次

 7.裝片直徑：Ф50mm

 9.外型尺寸：600×430×850（mm）

10.重    量：85Kg


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