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掃描電子顯微鏡 SU3500

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產(chǎn)品簡介

高畫質的鎢燈絲掃描電鏡,圖象質量更進一步

詳細介紹

高畫質的鎢燈絲掃描電鏡, 圖象質量更進一步。

通過高畫質提升掃描電鏡的分析能力和操作性, 凝聚日立科技“匠心"。

SU3500鎢燈絲掃描電鏡具有實現(xiàn)了“3 kV加速電壓7 nm分辨率"的全新電子光學系統(tǒng), 可實現(xiàn)實時立體成像的“實時立體觀察功能"*1、以及更高檢測效率的 “UVD超高靈敏度可變壓力檢測器"*1它為觀察和分析提出了嶄新的標準。

*1:自選

 

特點:

? 低加速電壓觀察時分辨率更高,可更好地觀察樣品最表面的細微形狀和更有效地降低樣品的損壞

? 全新設計的電子光學系統(tǒng)和信號處理技術實現(xiàn)了高速掃描和低噪音的觀察

? 和以前的常規(guī)掃描電子顯微鏡相比*2自動功能縮短*3了大約11秒

? 具有在低真空時可以非常好地觀察樣品最表面的細微形狀的“UVD(超高靈敏度可變壓力探測器)"*4

? 具有實現(xiàn)了實時立體成像的“實時立體觀察功能"*4

*2:和日立SEM S-3400N相比

*3:根據(jù)觀察條件的不同,時間會有變動

*4:自選

 

規(guī)格:

項目 描述
二次電子分辨率 3.0 nm(加速電壓=30 kV,WD=5 mm高真空模式)
7.0 nm(加速電壓=3 kV,WD=5 mm高真空模式)
背散射電子分辨率 4.0 nm(加速電壓=30 kV,WD=5 mm低真空模式)
10.0 nm(加速電壓=5 kV,WD=5 mm高真空模式)
放大倍率 5 - 300,000倍(底片倍率*5
7 - 800,000倍(顯示器顯示倍率*6
加速電壓 0.3~30kV
可變壓力范圍 6~650Pa
樣品尺寸 直徑 200 mm
樣品臺 X 0~100mm
Y 0~50mm
Z 5~65mm
R 360°
T -20~90°
可觀察區(qū)域 直徑 130 mm(旋轉并用)
樣品高度 80mm(WD=10mm)
馬達臺 5軸標配
電子光學系統(tǒng) 電子槍 預對中的鎢燈絲
物鏡光闌 4孔可動光闌
探檢測器 埃弗哈特 索恩利 二次電子探測器
高靈敏度半導體背散射電子檢測器
EDX分析 WD 10 mm(取出角35°)
圖像顯示 操作系統(tǒng) Windows®7(有更改,恕不另行通知)
圖像顯示模式 全屏模式(1,280 × 960 像素)
小屏模式(800 × 600 像素)
雙圖像顯示(800 × 600 像素)
四屏幕顯示(640 × 480像素)
信號混合模式
排氣系統(tǒng) 操作 全自動排氣
渦輪分子泵 261升/秒 × 1
機械泵 135 L/min.(162 L/min.,60Hz) × 1
*5:
以127 mm × 95 mm(圖像尺寸4" × 5")的顯示尺寸規(guī)定倍率
*6:
以345 mm × 259 mm(像素1,280 × 960)的顯示尺寸規(guī)定倍率

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