Diener PICO系列等離子清洗機

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更新時間：2023-05-24 09:25:02瀏覽次數：313次

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上海爾迪儀器科技有限公司

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產品簡介

詳細介紹

Pico 等離子設備能夠以不同的形式進行整合，例如以模塊系統(tǒng)的形式。在下文中您可以大致了解能夠與 Pico 等離子系統(tǒng)一同使用的見的選裝件。Pico 等離子系統(tǒng)主要應用于以下領域：

系列	Pico系列
控制系統(tǒng)	半自動型 PCCE 控制系統(tǒng) (MicrosoftWindows CE) PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows POS Ready 2009)
體積	4~15L
真空腔室	圓形不銹鋼件，配有蓋子（大約Φ 150 mm, 長 320 mm 或者長 600 mm）或者矩形不銹鋼件，配有鉸鏈的門（約寬 160 mm x 高 160 mm x 深 325 mm 或者 600 mm）配有蓋子的圓形鋁材，或者配有鉸鏈的門（大約Φ 130 mm, 長 300 mm 或者長 600 mm）配有蓋子的圓形石英玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門（大約Φ 130 mm, 長 300 mm 或者長 600 mm）配有蓋子的圓形硼硅玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門（大約Φ 130 mm, 長 300 mm 或者長 600 mm）
電極	單層或多層 RIE
樣品支架	（選項：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉鼓、散裝件轉鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃
氣源	針型閥質量流量控制器 (MFCs)
壓力計	Pirani Baratron（適用于腐蝕性氣體版本）
計時器	數字型
高頻電流發(fā)生器	40 kHz: 功率 0 - 200 W；0 -1000 W 13.56 MHz: 功率 0 - 50 W；0 - 100 W；0 - 300 W 2.45 GHz: 功率 0 - 300 W 所有發(fā)生器均為 0 - 99% 無級可調型
真空泵	KASHIYAMA
電源	臺式設備為 230 V，立式設備為 400 V/3 相位