InficonBPG400大氣壓至超高真空真空計廣泛測量從超高真空到大氣壓的復(fù)合規(guī)管技術(shù)INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BPG400型復(fù)合真空計將兩種真空計的功能融合到一個緊湊的裝置中，測量范圍從5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）

詳細(xì)介紹

Inficon BPG400 大氣壓至超高真空真空計

廣泛測量從超高真空到大氣壓的復(fù)合規(guī)管技術(shù)

INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BPG400型復(fù)合真空計將兩種真空計的功能融合到一個緊湊的裝置中，測量范圍從 5×10^-10 毫巴至大氣壓（3.8×10^-10 托至大氣壓）。

BPG40x tiba15_31

益處

測量范圍非常廣，從 5×10^-10 毫巴至大氣壓（3.8×10^-10 托至大氣壓）
10^-8 … 10^-2 毫巴過程壓力范圍內(nèi) 5% 的優(yōu)良可重復(fù)性
皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)貝阿德-阿爾珀特系統(tǒng)在高壓操作下單絲過早燒毀和過度污染
使用壽命長的氧化釔銥絲
備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場總線接口
高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié)，減少操作員干預(yù)
RoHS 合規(guī)
低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

典型應(yīng)用

對半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測量
工業(yè)鍍膜
低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

零件號明細(xì)353-500BPG400 規(guī)管353-500-11BPG400 BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF353-500-I0BPG400規(guī)管353-502-ABPG400規(guī)管354-498Spare electronic BPG400 without Display354-499Spare electronic BPG400 with Display353-501BPG400 規(guī)管353-502BPG400 規(guī)管353-503BPG400 BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R353-505復(fù)合真空規(guī)353-506BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R353-507BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN25ISO-KF353-508BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R

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