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Inficon PEG100真空計(jì)

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PEG100中真空至超高真空真空計(jì)INFICON潘寧PEG100型真空計(jì)提供可靠的高真空測(cè)量

詳細(xì)介紹

PEG100 中真空至超高真空真空計(jì)

INFICON 潘寧PEG100型真空計(jì)提供可靠的高真空測(cè)量。 堅(jiān)固耐用的潘寧冷陰極傳感器不會(huì)出現(xiàn)燈絲燒毀的現(xiàn)象。 由于采用鈦陰極板且等離子點(diǎn)火后高電壓將會(huì)降低，真空計(jì)還可在濺射應(yīng)用環(huán)境下運(yùn)行。 現(xiàn)場(chǎng)總線選件，除了對(duì)數(shù)模擬輸出信號(hào)外，允許使用 Profibus DP 或 DeviceNet 協(xié)議將真空計(jì)輕松集成到真空系統(tǒng)中。

PEG100

益處

  • 測(cè)量范圍廣，從 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴（7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 托）
  • 全金屬冷陰極傳感器（潘寧），帶陶瓷饋入裝置
  • 創(chuàng)新的電極幾何形狀提供的點(diǎn)火屬性
  • 等離子點(diǎn)火后降低的高壓和鈦陰極板可減少污染危險(xiǎn)，即使在有氬氣的濺射運(yùn)行中
  • 陽極環(huán)和鈦陰極可輕松進(jìn)行清潔或更換
  • 最小化真空計(jì)附近的磁場(chǎng)強(qiáng)度
  • 用于電源接通和等離子體點(diǎn)火的 LED 指示器
  • 對(duì)數(shù)模擬輸出信號(hào)
  • 現(xiàn)場(chǎng)總線接口（Profibus DP、DeviceNet）允許使用網(wǎng)絡(luò)通信將真空計(jì)輕松集成到真空系統(tǒng)中

典型應(yīng)用

  • 高真空壓力監(jiān)控
  • 蒸發(fā)濺射系統(tǒng)
  • 高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制

 

零件號(hào) 明細(xì)
351-002 PEG100-P 規(guī)管
351-003 PEG100D 型真空計(jì)
351-004 PEG100-D Penning Gauge; DN40CF-F
351-005 PEG100-P 規(guī)管

 


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