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測量項目
粗糙度部分	Ra,Rz=Ry(JIS),Rq,Rt=Rmax,Rp,Rv,R3z,R3y,RzJIS,Rs,Rsk,Rku,Rsm,Rmr
輪廓儀部分	點、直線、圓、部分圓、橢圓、圓弧處理（圓弧半徑、圓心距、圓心到直線的距離、交點到圓心的距離等）、高點、低點、距離、角度處理（坐標夾角、直線夾角）、直線度、槽深、槽寬、溝邊距、溝心距、水平距、凸度（對數(shù)曲線）、輪廓度等參數(shù)
粗糙度測量范圍
X軸	RA：0.005μm—16.00μm
Z1軸	±20μm、±40μm、±80μm
取樣長度 L	0.25mm、0.80mm、2.50mm、自動
評定長度	1L—5L(可選 L為取樣長度)
測量行程長度	3L—7L(可選 L為取樣長度)
輪廓儀測量范圍
X軸（橫導軌）	100mm
Z1軸（傳感器）	40mm
Z軸（立柱）	400mm
粗糙度測量精度
示值誤差 1	0.001μm
示值誤差 2	≤±7％
輪廓儀測量精度
X軸 (L=X軸導軌移動距離)	±(1.2+L/300)μm
Z1軸 (H=Z1軸方向測量高度)	±(1+2H/100)μm
X軸水平臂
直線度	1μm/100mm
光柵分辨率	0.1μm
光柵產地	進口
Z1軸傳感器
分辨率	0.05μm
傳感器類型	光柵傳感器
產地	進口
移動方向	前/后雙方向
測力	0.5-6g
測針針尖	硬質合金 R：0.05mm、0.01mm
爬坡角度	上升77度下降88度
驅動行程
大驅動行程長度	17.5mm/0.71 inch
小驅動行程長度	1.3mm/0.052 inch
粗糙度速度
測量速度	0.135mm/s、0. 5mm/s、1mm/s
輪廓儀速度
測量速度	0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s（自定義）
定位速度	0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s（自定義）
圖形放大/縮小
圖形放大	可任意縮小、放大
綜合調整臺
綜合調整臺	X軸水平傾斜調整范圍：±30° Y軸方向調整范圍：±7.5mm Z軸回轉可調360度（帶微調裝置）
安裝要求
電源	220-240V AC, 50HZ，單獨地線；大功率消耗450W
壓縮空氣	純凈壓縮空氣：氣壓0.4MP，消耗0.1m3 /min （氣源供給0.6MP，0.25m3 /min以上）
環(huán)境要求	工作溫度：10°-30°（常溫）；濕度20-80%RH（無結露），良好地線，無明顯振源