潔凈烤箱也稱為無塵烘箱,主要通過空氣過濾器來凈化環(huán)境,避免空氣中的細(xì)小顆粒物進(jìn)去箱內(nèi)。箱內(nèi)空氣封閉自循環(huán)，經(jīng)100級耐高溫高效空氣過濾器反復(fù)過濾，使工作室內(nèi)處于無塵狀態(tài)。無塵烘箱適用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門；無塵工業(yè)烤箱還可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。