秦思肯Tescan LYRA3 GM 掃描電子顯微鏡是一款由計算機(jī)控制的聚焦離子束場發(fā)射掃描電子顯微鏡，可選配氣體注入系統(tǒng)(GIS)，有高真空和低真空兩種模式，其具有突出的光學(xué)性能、清晰的數(shù)字化圖像、成熟、用戶界面友好的SEM/FIB/GIS操作軟件等。

秦思肯Tescan LYRA3 GM 掃描電子顯微鏡分析潛力：高亮度肖特基發(fā)射可獲取高分辨率、高電流和低噪聲的圖像；可選配超高分辨率的In-Beam二次電子探頭；的三透鏡大視野觀察（Wide Field Optics™）設(shè)計提供了多種工作模式和顯示模式，體現(xiàn)了TESCAN可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設(shè)計；結(jié)合了完善的電子光學(xué)設(shè)計軟件的實時電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing™）可模擬和進(jìn)行束斑優(yōu)化；成像速度快；低電壓下的電子束減速模式（Beam Deceleration Technology – BDT），可獲得高分辨率（選配）；In-Beam背散射電子探頭提供小工作距離下的BSE圖像（選配），甚至適合鐵磁性樣品的分析；全計算機(jī)化優(yōu)中心電動載臺設(shè)計優(yōu)化了樣品操控；的幾何設(shè)計更適合安裝能譜儀（EDX）、波譜儀（WDX）、背散射電子衍射儀（EBSD）；由于使用了強(qiáng)力的渦淪分子泵和無油干式真空泵，因而可以快速簡單的得到干凈的真空樣品室。電子槍的真空由離子泵維持。全自動設(shè)置的顯微鏡包括了電子光路設(shè)置和合軸功能網(wǎng)絡(luò)操作和內(nèi)置遠(yuǎn)程控制/診斷軟件為標(biāo)配；3維電子束技術(shù)提供了實時立體圖像；在低真空模式下樣品室真空可達(dá)到500Pa，用于觀測不導(dǎo)電樣品；的離子差異泵（2個離子泵）使得離子散射效應(yīng)非常低；聚焦離子束鏡筒內(nèi)有馬達(dá)驅(qū)動高重復(fù)性光闌轉(zhuǎn)換器；聚焦離子束的標(biāo)配包括了電子束遮沒裝置和法拉第筒；在高束流下，選配的Cobra聚焦離子束提供了超高的分辨率和的性能；FIB切割、信號采集、3維重構(gòu)（斷層攝影術(shù)），3D EBSD、3D EBIC與集成3維可視化；成熟的SEM/FIB/GIS操作軟件，圖片的獲取、存檔、處理和分析功能

LYRA3配置：裝有馬達(dá)驅(qū)動全計算機(jī)化優(yōu)中心樣品臺的超大樣品室電鏡，適用于在高真空模式下對導(dǎo)電樣品的分析?？勺冋婵帐絊EM，體現(xiàn)了高真空模式和低真空模式的優(yōu)點。在低真空模式下可以觀測不導(dǎo)電的樣品，不需要噴金。

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